ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Chap.4 : Conception, réalisation et caractérisation d’un démonstrateurFIG. 4.2 - Optimisation de l’épaisseur et du rapport cyclique du réseau pour une période fixée etpour l’ordre 1R, g = 1,55 µm. Les lignes verticales et horizontales représentent une erreur de10 % sur ces paramètres ; le carré gris, les paramètres choisis.Finalement, les caractéristiques géométriques du démonstrateur, résumées dans le tableau 4.1,sont représentatives des composants GEMOEMS tout en autorisant une plage importante d’erreursans dégrader notablement les performances optiques (figure 4.2).Epaisseur des membranes d’InP 0,611 µmMiroir de Bragg Epaisseur des couches d’air 0,3875 µmNombre d’alternances 1Couche d’air actuable Epaisseur (g) 1,55 µm - 1,2 µmPériode (d) 1,6µm, 2 µmRéseau de diffraction Rapport cyclique (f) 0,2Epaisseur (a) 0,49 µmAngle d’incidence (θ i ) 0TAB. 4.1 - Paramètres physiques d’un démonstrateur GEMOEMS.Deux types de simulations ont été conduites pour prévoir les performances du démonstrateurretenu : une simulation, à partir d’ondes incidentes planes, pour une structure supposée infinie130