ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Caractérisation4.4 Caractérisation.4.4.1 Banc expérimental.Un banc de caractérisation a été conçu et réalisé (cf. figure 4.21) au sein du laboratoire parM. Garrigues. Il permet de mesurer en statique ou en dynamique la réponse optique (réflexionspéculaire et ordre de diffraction 1R) du composant lorsqu’il est soumis à une tension d’actuation.Le banc de mesure comporte :– un système mécanique (1) permettant d’aligner l’échantillon et les fibres optiques d’entrée(16) et de collection (16 et 17) de manière indépendante : la position de l’échantillon estréglable selon six degrés de liberté via le système mécanique (13), la fibre d’entrée (16) estfixe et la position de la fibre de collection (17) est réglable selon cinq degrés de liberté (seulela rotation autour de l’axe z n’est pas permise) par l’intermédiaire du système mécanique(14). La précision du positionnement des systèmes mécaniques est de l’ordre du micron ;– un système de visualisation (6 et 7) composé d’un objectif (18), d’une caméra (7) et d’unécran de contrôle (6) ;– une source optique (2) large bande constituée d’une association de plusieurs diodes superluminescentes.Cette source couvre une bande de longueurs d’onde allant de 1300 à 1600nm et délivre une puissance de quelques milliwatts ;– un circuit fibré (8) composé d’une fibre monomode à maintien de polarisation (16) terminéepar un collimateur à lentille GRIN, d’un polariseur (9), d’un coupleur directionnel 50/50(10). Le faisceau ainsi collimaté possède un diamètre (au waist) de l’ordre de 12 nm ;– un analyseur de spectre (3) de résolution maximale 10 pm ;– un système sous pointes (15) permettant l’actuation des membranes piloté par un générateurde tension (4) ainsi que la mesure du courant de fuite (5) dans la diode PIN.163