ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Rappels d’acquis de conception sur les microfiltres accordables MOEMSm ∈ N ∗ , représentant l’ordre de la résonance. L’intervalle spectral libre – ISL – estl’écart spectral entre deux résonances.La largeur à mi-hauteur du pic de transmission (FWHM pour Full Width at HalfMaximum en anglais) associé à une résonance est égale à :∆λ r,m =(1 −√R1 · R 2)· λ2r,m2π · g · cos θ i · 4√ R 1 · R 2Cette largeur à mi-hauteur est directement reliée à la finesse de la cavité par la formule: F =ISL . Elle est de plus inversement proportionnelle à l’épaisseur de laF W HMcavité et dépend également de la réflectivité des miroirs. Sachant que, dans les dispositifsmicro-usinés verticaux l’épaisseur de la cavité est limitée (typiquement g = λ r,1 ), il fautobtenir des miroirs de grande réflectivité pour atteindre de faible largeur à mi-hauteur :typiquement encore, une réflectivité de 99,5 % pour des applications WDM.Les miroirs de Bragg permettent d’atteindre ces hautes réflectivités.1.3.2.1.2. Miroir de Bragg.Un miroir de Bragg est constitué d’alternances de deux couches, d’épaisseur λ/4n(couches dites quart d’onde), respectivement de haut et bas indices optiques n. Le déphasagede l’onde dans ces couches est alors de π/2, 3π/2, etc., toutes les ondes réfléchies sonten phases (interférences constructives) et la réflectivité est maximale à λ 0 ; elle s’écrit 31 :⎛R max = ⎜⎝1 − n (sub n1·n sup1 + n subn sup·) 2N⎞n 2 ) 2N⎟⎠n 2(n12(1.2)où 2N est le nombre d’alternances et n i∈{1,2,sub,sup} les indices optiques des différentes31 E. Rosencher et B. Vinter, « Optoélectronique », Masson, Paris, ISBN 2100065548, 1998.41