ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Chap.4 : Conception, réalisation et caractérisation d’un démonstrateurappliquée de 10 V la force exercée sur la membrane est significativement inférieure à la valeurthéorique et la flèche maximale reste inférieure à la condition de stabilité (1.14). La fréquencede résonance de la structure est de 160 kHz.FIG. 4.6 - Résultat d’une simulation mécanique par éléments finis d’une membrane d’InPstructurée.Le calcul de la raideur électro-mécanique est basé sur l’énergie électrostatique emmagasinéepar le condensateur formé par deux membranes pleines (cf. paragraphe 1.3.3.2). Bien que cettesituation recouvre une grande majorité des configurations, notamment celles du commutateur1 × 2 et du multiplexeur add-drop présentés au précédent chapitre, elle est quelque peu différentedans le cas du démonstrateur proposé. La tension est dans ce cas appliquée entre une membranepleine et une membrane micro-structurée par un réseau « traversant ».134