ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

ConclusionFIG. 4.32 - Mesure de la réponse dynamique d’une membrane pleine à une excitation « tout ourien ».Bien que nous hésitions encore sur les origines de la dissymétrie des temps de montée et dedescente dans le cas d’une exitation « tout ou rien », nous avons choisis de montrer ces résultatsatypiques. Des investiguations en cours auprès de spécialistes de la mécanique des fluidesdevraient, espérons nous, nous éclairer sur le mécanisme mis en jeu.4.5 Conclusion.La réalisation satisfaisante d’un composant GEMOEMS est soumise à un nombre importantd’incertitudes technologiques (contrôle du rapport cyclique du réseau, phénomène de collage desmembranes, courant de fuite trop important de la diode, contraintes résiduelles déformant lesmembranes suspendue, etc.) pourtant très critiques quant au fonctionnement final du composant.Aussi, dans le cadre d’une première réalisation, nous avons choisi de concevoir un démonstrateursimple et « robuste » pour démontrer le principe et la faisabilité technologique de cette nouvelleclasse de composant. Si les résultats ne s’avèrent pas aussi satisfaisants que possible, principalementdu fait du collage de la membrane inférieure sur le substrat, des mesures statiques etdynamiques de l’ordre spéculaire et de l’ordre diffracté ont pu être réalisées et montrent bienque nous pouvons transférer efficacement le faisceau de sortie de l’un à l’autre sous l’actionde la tension d’actuation. Ces résultats expérimentaux valident ainsi le concept de composantsGEMOEMS et leur faisabilité technologique.Notons que les mesures des temps de réponse effectifs que nous avons mesurées montrent177