ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Chap.3 : Composants « GEMOEMS »sont relatives à la faisabilité technologique, par exemple, l’épaisseur des couches des membranesd’InP, y compris celle supportant le réseau, devra être au moins égale à 0,6 µm pour les raisonsde rigidité mécanique évoquées lors du premier chapitre. Ces contraintes technologiquessont particulièrement aiguës sur les caractéristiques géométriques du réseau de diffraction : sonépaisseur donc, mais également le profil, qui compte tenu des connaissances et des moyens degravure de l’InP, sera préférentiellement rectangulaire (lamellaire). De la même façon, les dimensionsdes périodes seront restreintes, d’une part par la volonté de conserver des ordres diffractésnon évanescents et d’autre part pour limiter le nombre d’ordre total de diffraction pour faciliterla conception et la collection. Il existe également des contraintes que l’on peut qualifierd’intrinsèques ; par exemple, l’amplitude de l’actuation ne pourra dépasser un tiers de la valeurde l’épaisseur d’air initiale pour éviter le collage électrostatique de deux membranes. Enfin, auregard des applications visées, des critères de performances et d’intérêt commercial ne saurontêtre écartés.Méthode de conception.La méthode utilisée pour concevoir ce type de composants procède en trois temps : nouseffectuons un premier dimensionnement analytique des caractéristiques géométriques du réseaude diffraction (période, épaisseur, rapport cyclique), et de l’angle d’incidence en fonction desobjectifs souhaités. Nous déterminons ensuite les paramètres liés au couplage avec l’élémentMOEMS, par exemple l’épaisseur d’air le séparant du réseau. Enfin, une phase de simulationnumérique permet d’optimiser l’ensemble des paramètres lorsqu’ils sont couplés entre eux.88