ECOLE CENTRALE DE LYON - Bibliothèque Ecole Centrale Lyon

Rappels d’acquis de conception sur les microfiltres accordables MOEMS1.3.2 Conception optique d’un filtre Pérot-Fabry MOEMS.La sélectivité en longueur d’onde constitue une fonction essentielle nécessaire pourles réseaux tout optique. Parmi les techniques de filtrage sélectif, la structure interférométriquede type Pérot-Fabry est parmi celles les plus souvent employées, y compris àl’échelle des microsystèmes, car l’épaisseur de la cavité détermine directement la longueurd’onde filtrée. Par rapport aux principes exposés dans le brevet que nous avons utilisé, les« moyens de filtrage » seront constitués par un filtre Pérot-Fabry. La conception optiquede filtres Pérot-Fabry MOEMS utilise des outils de modélisation des propriétés optiquesbien établies et éprouvées par la conception de filtres optiques conventionnels réaliséspar un empilement de couches transparentes. La démarche s’appuie généralement sur unpremier dimensionnement analytique complété par une phase d’optimisation numériqueen fonction des spécifications souhaitées.1.3.2.1 Eléments constitutifs.1.3.2.1.1 Interféromètre de Pérot-Fabry.Un interféromètre de Pérot-Fabry est une cavité optique résonnante constituée dedeux miroirs parallèles, partiellement réfléchissants. La transmission d’un tel résonateurdépend du déphasage subit par l’onde incidente dans la cavité. Pour un angle d’incidencedonné, chaque longueur d’onde correspondant à un déphasage nul modulo π, donneralieu à un maximum de transmission de l’interféromètre. Plus généralement, en négligeantl’absorption et en considérant des miroirs de réflectivité R 1,2 constante sur la plage delongueur d’onde considérée, le spectre de transmission de l’interféromètre peut s’écriresous la forme générale :T (λ) = T max ·11 + G · sin 2 (δ(λ))(1.1)cette formule, connue comme « formule d’Airy » permet d’identifier quelques paramètrescaractéristiques :T max = (1 − R 1) · (1 − R 2 )(1 −√R1 · R 2) 239