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Rappels d’acquis de conception sur les microfiltres accordables MOEMSLa figure 1.5 ci-dessus fait apparaître une influence de l’épaisseur des couches constituantle miroir sur la largeur du stop-band. Cette épaisseur, multiple de λ/4n, s’écritplus généralement (2p + 1).λ/4n, p désignant un entier naturel. Lorsque p est non nul,des minima supplémentaires apparaissent et réduisent la largeur du stop-band effectif(courbe en points de la figure 1.5). Lors de la conception de dispositifs MOEMS constituésde membranes suspendues, le choix de l’épaisseur de la couche quart d’onde (et doncle choix de p) est critique. En effet, plus les membranes sont épaisses plus elles sont mécaniquementrésistantes aux déformations parasites. Par contre, augmenter p dégrade lespropriétés optiques de la structure comme nous venons de le voir. Un compromis entrela largeur du stop-band nécessaire et l’épaisseur des couches est donc à déterminer.Dans le cas d’un miroir métallique parfaitement conducteur l’onde électromagnétiquesubit un déphasage de π et le champ est nul dans le métal, ce qui peut être résumé endisant que l’onde ne pénètre pas dans le miroir. La situation est légèrement différentepour les miroirs de Bragg, dont la réflexion totale est le résultat des interférences desréflexions de l’onde incidente au niveau des différentes couches quart d’ondes. Le champélectromagnétique n’est pas nul dans le miroir et une longueur de pénétration peut êtrecalculée 35 :L p =λ24π · n · ∂ϕ∂λ(1.4)ϕ symbolise le changement de phase subi par l’onde au niveau de l’interface et n estl’indice moyen. L p est donc inversement proportionnelle à la différence d’indice des deuxmatériaux. L’existence d’une longueur de pénétration dans le miroir modifie les propriétésde l’accordabilité optique d’une cavité Pérot-Fabry dont les miroirs sont des réflecteursde Bragg. Ce défaut est d’autant plus accentué que l’ordre p des couches quart d’ondeest plus élevé.35 D. I. Babic et S. W. Corzine, « Analytic expressions for the reflection delay, penetration depth, andabsorptance of quarter-wave dielectric mirrors », IEEE Journal of Quantum Electronics, vol.28, n o 2, pp.514 - 524, 1992.43