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Contexte et bref panorama des MOEMSL’objectif de ce chapitre est double : présenter le contexte et les concepts ayant initiéce projet de thèse et rappeler quelques acquis de conception, en particulier ceux dulaboratoire, relatifs aux micro-filtres accordables Pérot-Fabry à base d’InP.1.1 Contexte et bref panorama des MOEMS.Il ne s’agit pas dans ce paragraphe d’établir un état de l’art de tous les domainesabordés dans ce mémoire mais plutôt de rappeler les grandes lignes de l’« historique »des MOEMS et les facteurs de leur développement.Un des premiers MOEMS « silicium » connu est, sans doute, le micro-déflecteur électrostatiqueobtenu, au début des années 1980, par Petersen 5 , alors chez IBM Corp., etréalisé par usinage de volume. Depuis, comme nous l’avons évoqué dans l’introduction,le domaine des MOEMS a connu un croissance importante et rapide et cette croissances’est accélérée avec le développement des télécommunications.Les progrès scientifiques et techniques du secteur des télécommunications ne procèdentpas de ruptures spectaculaires mais résultent plutôt de la poursuite des avancéesde deux domaines, l’électronique (informatique) et l’optique, et de la confluence de cesprogrès. Deux faits semblent néanmoins incontournables : la mise en relation du secteurinformatique avec le secteur des télécommunications avec l’émergence du réseau Internet,et l’apparition de la fibre optique haut débit. En effet, si la fibre optique est utiliséedepuis une vingtaine d’année, sa version d’origine est une fibre unimodale dont la capa-5 K. E. Petersen, « Silicon as a mechanical material », Proceedings of the IEEE, vol. 70, n o 5, pp.420-469, 1982.27