Elektronika 2009-05.pdf - Instytut Systemów Elektronicznych ...

Rys. 7. Dyfraktogramy rentgenowskie (skany 2θ/ω) dla serii laserówQCL wykonanych w ITE, górna krzywa jest wynikiem modelowaniadla konstrukcji planowanejFig. 7. X-ray diffractograms (2θ/ω scans) for a series of QCLs madein the ITE, the topmost curve is a simulation for the planned constructionAnaliza rentgenowskich krzywych dyfrakcyjnych, wykonanychdla serii struktur laserowych o tej samej geometrii nominalneji porównanie ich z teoretyczną krzywą dla konstrukcjiplanowanej dowiodły niemal doskonałej powtarzalności procesówepitaksji oraz zgodności wyników z teoretycznymzałożeniem konstrukcyjnym (rys. 7, 8). Należy zwrócić uwagęna niemal doskonałe pokrywanie się tej grupy krzywych dyfrakcyjnych,związane ściśle z osiągniętą precyzją (±1%) wykonaniagrubości warstw. Oznacza to jednocześnie wysokąregularność (periodyczność) wielomodułowego obszaru aktywnegolaserów, co dodatkowo potwierdza wysoka liczba pikówsatelitarnych na krzywych, będących wynikiem skanowania2θ/ω. Z kolei idealna zgodność krzywych fotoluminescencjizmierzonych w różnych punktach płytki epitaksjalnej świadczyo doskonałej jednorodności planarnej heterostruktur (rys. 9).Processing przyrządowy i właściwościlaserów kaskadowychHeterostruktury epitaksjalne przetworzono na diody laserowew wyniku zastosowania wieloetapowej technologii processingu.Mesa typu double-trench (rys. 10) została wytrawiona w kwaśnymroztworze wodnym. Należy zwrócić uwagę na wysokąprecyzję zastosowanego procesu trawienia, której efektemjest - oprócz uzyskania prawidłowej geometrii mesy - takżedoskonała gładkość ścian trawionej struktury (rys. 11). Do wy-Rys. 8. Dyfraktogramy rentgenowskie (skany 2θ/ω) dla serii laserówQCL wykonanych w ITE - obszar pików satelitarnych; górnakrzywa jest wynikiem modelowania dla konstrukcji planowanejFig. 8. X-ray diffractograms (2θ/ωscans) for a series of QCLs madein the ITE - the region of satellite peaks; the topmost curve is a simulationfor the planned constructionRys. 10. Zdjęcie ze skaningowego mikroskopu elektronowego prezentującemesę typu double-trenchFig. 10. A Scanning Electron Micrograph of a double-trench mesaRys. 9. Widma fotoluminescencji mierzone w położeniu środkowymi przykrawędziowym supersieciowej płytki epitaksjalnejFig. 9. Photoluminescence spectra for the center and for the edgeof the superlattice epitaxial structureRys. 11. Zdjęcie ze skaningowego mikroskopu elektronowego prezentującemesę typu double-trench (detal)Fig. 11. A Scanning Electron Micrograph of a double-trench mesa(detail)46 ELEKTRONIKA 5/2009