forschungsprogramm optische technologien - Baden-Württemberg ...

wird. Durch den einfachen Wechsel zwischen den beiden Interferometerschaltungen
wird es möglich, mikrooptische Komponenten
wie Mikrolinsen sowohl im Auflicht (Interferometer im
Twyman-Green Modus) als auch im Durchlicht (Interferometer
im Mach-Zehnder Modus) zu vermessen. In den Auflichtmessungen
werden Konturabweichungen der einzelnen optischen
Wirkflächen hochgenau bestimmt. In den Durchlichtmessungen
werden die Abbildungseigenschaften der Messobjekte charakterisiert,
die sowohl von den Flächenkonturen als auch von
potenziellen Fehlern wie Brechungsindexinhomogenitäten,
Substratpassfehler, Zentrier- bzw. Keilfehler bestimmt werden.
Neben der interferometrischen Charakterisierung der Wellenaberrationen
der Mikrolinsen ermöglicht
das System auch die Messung von Krümmungsradius,
Brennweite, Pfeilhöhe und
Substratdicke. Alleinstellungsmerkmal des
neu entwickelten Messsystems ist, dass
beide Messungen (Kontur und Aberrationen)
in einem einzigen Interferometeraufbau
durchgeführt werden können,
wodurch potenzielle Fehlerquellen wie
Orientierungsfehler oder Verwechselungsfehler
einer Linse im Array vermieden
werden. Die zur Datenakquisition und -
analyse erforderliche Software wurde im
Rahmen des Projekts erstellt.
Die Herstellung hochpräziser mikrooptischer
Bauelemente aus anorganischen Gläsern durch innovative,
schnelle Heißformgebungsverfahren ist nur bei exakter
Kenntnis zur Wirkung der verschiedenen Prozessparameter
möglich. Die Herausforderungen des Verbundvorhabens liegen
dabei zum einen in einem umfassenden Verständnis des
Abformprozesses und zum anderen in einer praktikablen begleitenden
Qualitätsprüfung. Wesentliche technologisch und mess-
technisch relevante Fragestellungen konnten durch die Arbeiten
der beteiligten Institutionen geklärt werden, perspektivische
Herausforderung für weiterführende Forschungsarbeiten ist
die Herstellung und Prüfung von optischen Komponenten mit
komplexen optischen Wirkflächen.
Abb. 1: Schematische Darstellung der
Laborapparatur zum schnellen
Heißprägen anorganischer Gläser und
heißgeprägtes Mikrolinsenarray.
Abb. 2: Schematischer Aufbau des hybriden Twyman-Green
/ Mach-Zehnder Interferometers.
(a) Twyman-Green System und
(b) Mach-Zehnder System.
HeNe, Helium-Neon Laser (633 nm);
MO, Mikroskopobjektiv;
PBS, Polarisierender Strahlteiler;
HWP, Halbwellenplatte;
QWP, Viertelwellenplatte, Pol, Linearpolarisator;
HALO, Hochapertur-Laserobjektiv;
L, Sammellinse; M, Spiegel; Cam, Kamera;
PZT, Piezo-Stellglied.
33