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forschungsprogramm optische technologien - Baden-Württemberg ...

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34<br />

Wissenschaft & Forschung<br />

[2002]<br />

Projekt:<br />

Ausschreibung 2002: Aktive Optik<br />

Viele Anwendungen der Optik wie z.B. Laser-Scanner, Kameras<br />

oder Abstandssensoren erfordern eine schnelle, variable<br />

Fokussierung. Häufig ist der Stellmechanismus komplex und<br />

verteuert daher das optoelektronische System signifikant. Ziel<br />

des am Institut für Mikrosystemtechnik der Universität Freiburg<br />

laufenden Forschungsvorhabens ist die Entwicklung eines<br />

variablen <strong>optische</strong>n Hohlspiegels, der elektromechanisch in seiner<br />

Brennweite verändert werden kann. Dabei soll der Spiegel<br />

mit kostengünstigen Massenprozessen aus Kunststoffen hergestellt<br />

werden. Grundidee ist, eine Reflektorschale durch eine<br />

zentrale Kraft auszulenken und so das Strahlenbündel zu fokussieren.<br />

Bisher verwendete, einfache Kunststoffspiegel weichen<br />

jedoch von der idealen Form ab und erzeugen dadurch einen zu<br />

großen Brennpunkt. Um einen scharfen Fokus zu erhalten, wird<br />

die Geometrie der Schale so gestaltet, dass sich immer die ideale<br />

Form eines Parabolspiegels ergibt, Abb. 1. Der Spiegel ist verformbar<br />

und weist eine definierte Biegelinie auf, wenn er durch<br />

elektromechanisch erzeugte Kräfte ausgelenkt wird.<br />

Das durchgeführte Vorhaben gliedert sich in die vier Arbeitspakete<br />

Spiegelkonstruktion und Auslegung, Kunststoff-Technik,<br />

Aktor-Integration und messtechnische Charakterisierung.<br />

Abb. 1: Aufbau des Spiegels variabler<br />

Brennweite zur Fokussierung von<br />

Laserstrahlen.<br />

Integrations- und Präzisions<strong>technologien</strong> für<br />

aktive <strong>optische</strong> Spiegelelemente<br />

Institut für Mikrosystemtechnik der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg<br />

Der erste Schritt hat die Konstruktion eines Bauteiles zum Ziel,<br />

welches eine definierte Verformung und definiertes strahlen<strong>optische</strong>s<br />

Verhalten aufweist. Dazu kann mit den Methoden<br />

der Automatisierten Design-Optimierung die ideale Form für<br />

das Bauteil gefunden werden. Aus diesem Grund wurde im<br />

Rahmen des Projektes zunächst ein neues Optimierungsverfahren<br />

entwickelt, welches bei der Simulation die physikalischen<br />

Domänen der Strahlenoptik, der Wellenoptik, der Mechanik und<br />

der Elektromagnetik umfasst und automatisiert abläuft. Dabei<br />

wird die Geometrie mit dem Programm „OPTIME“ systematisch<br />

so lange variiert, bis die Simulationen eine Toleranzschwelle des<br />

Fehlers der erwünschten Verformung unterschreiten. Auf diese<br />

Weise wird die Dicke über den Spiegelradius so bemessen, dass<br />

sich die Spiegelschale unter jeder Ansteuerkraft zu einer Parabel<br />

verformt. Durch die Erweiterung der Dickenanpassung um<br />

den Umfang konnte auch eine Form entwickelt werden, die<br />

besonders für schrägen Lichteinfall geeignet ist. Neben der<br />

Optimierung der Schichtdickenverteilung durch Simulation<br />

wurden auch analytische Lösungen untersucht. Der Vergleich<br />

zeigte die Konsistenz beider Methoden, für praxisrelevante<br />

komplexe Bedingungen ist aber die Optimierung auf Basis der<br />

Finite-Elemente-Simulation wesentlich vielseitiger.

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