forschungsprogramm optische technologien - Baden-Württemberg ...

unmittelbarer Nähe der Probe definiert die Auflösung. Die
hyperbolischen Linsen für den THz-Bereich lassen sich mit
guter optischer Qualität (Rauhigkeit < _/10) auf einer computergesteuerten
Drehbank aus Polyethylen herstellen. Polyethylen
selbst ist in diesem Frequenzbereich völlig transparent und
zeigt keinerlei Dispersion. Als Festkörper-Immersionslinse
wurde Silizium mit einem Brechungsindex n von 3,5 gewählt.
Mit diesem Mikroskop lässt sich eine Auflösung deutlich unter
einer Wellenlänge erreichen. Abb. 2 zeigt ein Foto und das THz-
Bild einer elektronischen Diebstahlsicherung. Während das Foto
nur die undurchsichtige Plastikhülle zeigt, kann mit der THz-
Strahlung in das Innere der Schaltung gesehen werden. Alle
Metallteile erscheinen hell, die Kunststoffhülle ist für THz-
Strahlung hingegen transparent. Die abgebildete Antennenstruktur
hat etwa eine Breite von 200 µm, was etwa λ/3 entspricht.
Abb. 1: Schematischer Aufbau des
THz-Immersions-Mikroskops.
Die THz-Strahlung wird mit einer
hyperbolischen Linse auf die sphärische
Festkörper-Immersionlinse (SIL)
fokussiert. In der SIL ist die Wellenlänge
um den Faktor n reduziert, was
zu einer erheblichen Steigerung des
Auflösungsvermögens führt.
Abb. 2: Foto und THz-Bild
(aufgenommen bei 470 GHz) einer
elektronischen Diebstahlsicherung.
Während das Foto nur die Plastikhülle
zeigt, sieht man mit THz-Strahlung in
das Innere der Schaltung.
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