XI Seminario de Investigación - Facultad de Ingeniería - Universidad ...

Como una alternativa a la técnica de sputtering se implementó la técnica de sol-gel,
con la que se obtuvieron películas de óxido de tungsteno de buena adherencia,
homogeneidad y sin grietas. Los resultados de los análisis por XRD muestran que las
películas depositadas son amorfas, cristalizando en dos fases de WO 3 : monoclínica y
tetragonal al realizar tratamientos térmicos a 500 y 700 0 C. Estos tratamientos
térmicos provocaron corrimientos en el borde de absorción debido a la cristalización
en las dos fases de WO 3 antes mencionadas.
Mediante los análisis de espectrometría de la energía dispersada de Rayos X se
determinó que hay depósito de tungsteno en todo el sustrato y no existen
contaminantes. En las imágenes de microscopía electrónica de barrido (SEM) se
observaron variaciones morfológicas en dependencia de la temperatura del
tratamiento térmico. En la Fig. 2 se observa la formación de cristales con longitudes
mayores a 2 µm para una película con tratamiento térmico a 700 0 C.
80 mTorr
Transmitancia (%)
60 mTorr
40 mTorr
20 mTorr
Longitud de onda (nm)
Fig. 1. Transmitancia en función de la
longitud de onda para muestras con
diferentes PAr.
Fig. 2. Imagen SEM para una muestra
preparada por sol-gel con tratamiento térmico
a 700 o C.
Podemos concluir que en el laboratorio de Ciencia de Materiales de la FIUADY se
dispone de dos técnicas de crecimiento que permiten obtener películas de óxido de
tungsteno de buena calidad con vistas a futuras aplicaciones.
Reconocimientos: Se agradecen los fondos otorgados a través de los programas
PRIORI con clave FING-06-007 y PROMEP con clave FING-08-003. También se
agradece al CINVESTAV-IPN Unidad Mérida por el uso de facilidades
experimentales.
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