Opinto-opas 2000-2002 - Oulu
Opinto-opas 2000-2002 - Oulu
Opinto-opas 2000-2002 - Oulu
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
Opettaja: S. Leppävuori<br />
Tavoitteet: <strong>Opinto</strong>jaksossa perehdytään laserprosessointilaitteisiin,<br />
laservalon ja materiaalien<br />
vuorovaikutusilmiöihin ja laservalon sovelluksiin<br />
mikroelektroniikan ja -mekaniikan valmistustehtävissä.<br />
Sisältö: Lasersäteilyn ominaisuudet, laserlähteet,<br />
laservalon ja aineen vuorovaikutus, lasertyöstö,<br />
laserkemiallinen prosessointi, laserin<br />
sovellukset mikroelektroniikassa, mikromekaniikassa<br />
ja elektroniikan pakkaustekniikassa.<br />
Toteutus: Luennot, laskuharjoitukset ja 2 ohjattua<br />
laboratoriotyötä. <strong>Opinto</strong>jakso toteutetaan<br />
joka toinen vuosi (tarvittaessa joka vuosi). <strong>Opinto</strong>jakso<br />
suoritetaan loppukokeella ja hyväksytysti<br />
suoritetuilla harjoitustöillä.<br />
Kurssikirjallisuus: Luentomoniste. L. Migliore,<br />
Laser materials processing, Marcel Dekker<br />
Inc., 1996 (osia). D. Bäuerle, Chemical processing<br />
with lasers (osia).<br />
52227S Mikroelektroniikka<br />
Periodi Luentoja Laskuharj Lab.harj. Laajuus<br />
1-3 25 40 3<br />
Opettaja: S. Leppävuori<br />
Tavoitteet: <strong>Opinto</strong>jaksossa perehdytään VLSItasoiseen<br />
puolijohdetekniikkaan sekä hybriditekniikan<br />
erikoiskysymyksiin.<br />
Sisältö: VLSI-tasoisten puolijohdepiirien valmistusvaiheet.<br />
Puolijohdeprosessien simulointi.<br />
VLSI-piiriteknologiat. GaAs-komponentit ja -<br />
piirit, hybriditekniikan erikoiskysymyksiä, mikroelektroniikan<br />
kehitystrendit.<br />
Toteutus: Luennot, yritysvierailut ja harjoitustyö.<br />
Kurssi luennoidaan vuorovuosina kurssin<br />
Mikromekaniikka kanssa (tarvittaessa joka vuosi).<br />
<strong>Opinto</strong>jakso suoritetaan loppukokeella,<br />
hyväksytysti suoritetulla harjoitustyöllä ja demonstraatioilla.<br />
Kurssikirjallisuus: Luentomoniste. S. M. Sze,<br />
Semiconductor Devices, Physics and Technology,<br />
John Wiley & Sons, 1985. S. M. Sze, ULSI<br />
Technology, The McGraw-Hill Companies, Inc.,<br />
1996 (osia). Julkaisuja.<br />
Esitiedot: Mikroelektroniikan ja -mekaniikan<br />
perusteet.<br />
52228S Mikroanturit<br />
Periodi Luentoja Laskuharj Suunn.harj Laajuus<br />
1-3 30 15 2.5<br />
Opettaja: V. Lantto<br />
Tavoitteet: <strong>Opinto</strong>jaksossa perehdytään elektronisten<br />
ja optisten mikroantureiden rakenteisiin,<br />
käyttöön ja toiminnan fysikaalisiin perusteisiin<br />
sekä antureiden suunnitteluun ja valmistukseen<br />
mikroteknologisin menetelmin.<br />
Sisältö: Kurssi käsittelee mikroantureita, jotka<br />
yleensä valmistetaan kolmella mikrotekniikalla:<br />
monoliittitekniikka, paksukalvotekniikka ja ohutkalvotekniikka,<br />
joista monoliittitekniikka on lähinnä<br />
piiteknologiaa. Antureilla havaittavat suureet<br />
käsittävät sähkömagneettisen säteilyn eri<br />
aallonpituusalueilla sekä mekaaniset, lämpö-,<br />
kemialliset ja magneettiset suureet. Antureissa<br />
nämä suureet vaikuttavat niiden sähköisiin ominaisuuksiin,<br />
jolloin anturit muuntavat informaatiota<br />
muista energiamuodoista (säteily, lämpö<br />
sekä mekaaninen, kemiallinen ja magneettinen<br />
energia) sähköisiksi signaaleiksi.<br />
Toteutus: Luentoja 2 tuntia viikossa ja laskuharjoituksia<br />
yksi tunti viikossa. <strong>Opinto</strong>jakso<br />
suoritetaan loppukokeella.<br />
Kurssikirjallisuus: Pekka Kuivalainen, Mikroanturit,<br />
Otatieto, 1992. Julian W. Gardner,<br />
Microsensors, Principles and Applications, John<br />
Wiley & Sons, 1994.<br />
Esitiedot: Puolijohdekomponenttien perusteet.<br />
Mikroelektroniikan ja -mekaniikan perusteet<br />
suositeltava.<br />
SO 250
Change language