СД-27 СОЗДАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ SiGe/Si МИКРО- И НАНООБОЛОЧЕК ° Юкечева Ю.С. 1 , Голод С.В. 1 , Принц В.Я. 1 Mussler G. 2 , Weber A. 2 , Deckardt E. 2 , Gruetzmacher D. 2 1 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН, 630090, Новосибирск, пр. Ак. Лаврентьева, 13, yukecheva@isp.nsc.ru 2 Paul-Sherrer Institute, 5232 Villigen, Switzerland Полупроводниковые оболочки (трубки, кольца, спирали и др.) являются интересными физическими объектами для практического применения в микросистемной технике, а также исследования электронного транспорта на искривленной поверхности. В данной работе сообщается о SiGe/Si трубках и спиралях, полученных методом контролируемого изгиба и сворачивания тонких напряженных пленок, который впервые был предложен в работе [Prinz V.Ya., Seleznev V.A., Gutakovsky A.K. and et al. - Physica E, 2000, 6(1-4), pp. 828-831]. 1) Созданы модулировано легированные и нелегированные SiGe/Si трубки и спирали с радиусом изгиба R от 220 нм до 1мкм, в т.ч. электрически изолированные от подложки. В основе процесса лежит высокая селективность растворимости окислов германия по отношению к окислу кремния. 2) Экспериментально продемонстрирована возможность значительного (до 2 раз) локального уменьшения кривизны в системах SiGe/Si/SiO 2 , что достигнуто экспонированием диоксида кремния электронным пучком. Метод позволяет создавать конусы, периодически модулированные по диаметру трубки-свитки и другие сложные объекты. 3) Сформированы микро- и нанооболочки на основе сильно легированные бором p + -SiGe/Si (R от 5 нм до 20 мкм) и гибридных (SiGe/Si/Cr и SiGe/Si/Si 3 N 4 /Cr) напряженных тонких пленок. Разработаны методы направленного сворачивания p + -SiGe/Si пленок в оболочки и их сборки в трехмерные конструкции, имеющие заданные размеры, форму и расположение на подложке. Методы основаны на использовании сильной анизотропии травления кристаллографических граней жертвенной подложки кремния. ° стипендиат МБНФ им К.И. Замараева 197
СД-27 Обсуждаются физико-химические процессы, лежащие в основе технологии: селективность травления жертвенных слоев относительно отсоединяемых напряженных пленок, усадка SiO 2 при интенсивном облучении электронами. 198
- Page 2 and 3:
Международный благ
- Page 4 and 5:
Финансовую поддерж
- Page 6 and 7:
Уважаемые участник
- Page 8:
Пленарные лекции
- Page 11 and 12:
ПЛ-2 ОПРЕДЕЛЕНИЕ ЛО
- Page 13 and 14:
ПЛ-3 НОВОЕ ПОКОЛЕНИ
- Page 15 and 16:
ПЛ-4 РАЗМЕРНЫЕ ЭФФЕ
- Page 17 and 18:
ПЛ-5 НИЗКОТЕМПЕРАТУ
- Page 19 and 20:
ПЛ-5 нераторов (одно
- Page 22 and 23:
УМН-1 ФИЗИКОХИМИЯ С
- Page 24 and 25:
УМН-1 вестных метод
- Page 26 and 27:
УМН-2 гигроскопично
- Page 28 and 29:
УМН-2 С ее помощью и
- Page 30 and 31:
УМН-3 Основной зада
- Page 32 and 33:
УМН-4 РАЗРАБОТКА АД
- Page 34 and 35:
УМН-4 стадии конвер
- Page 36 and 37:
УМН-5 нако использо
- Page 38 and 39:
УМН-6 НАНОДИСПЕРСНЫ
- Page 40 and 41:
УМН-7 ПОЛУЧЕНИЕ ЖИД
- Page 42 and 43:
УМН-7 грамма 16.1. «Ра
- Page 44 and 45:
УМН-8 цинксилита с р
- Page 46 and 47:
УМН-9 Мы исследовал
- Page 48 and 49:
УМН-9 Кроме реакции
- Page 50 and 51:
УМН-10 нических соед
- Page 52 and 53:
УМН-11 ТЕХНОЛОГИЧЕС
- Page 54 and 55:
УМН-11 тельное время
- Page 56 and 57:
УМН-12 Cp 2 МCl 2 (М= Ti, Zr,
- Page 58 and 59:
УМН-13 КАТАЛИЗИРУЕМ
- Page 60 and 61:
УМН-14 ПРОТОННАЯ ПОД
- Page 62 and 63:
УМН-15 ВЛИЯНИЕ ЩЕЛОЧ
- Page 64 and 65:
УМН-15 3. Z. Kowalczyk, S. Jodzi
- Page 66 and 67:
УМН-16 ратуру реакци
- Page 68 and 69:
УМН-17 РАЗРАБОТКА НА
- Page 70 and 71:
УМН-17 3. Губин С.П., Ю
- Page 72 and 73:
УМН-18 вулканизации.
- Page 74 and 75:
УМН-18 лоидной модиф
- Page 76 and 77:
УМН-19 завершается.
- Page 78 and 79:
УМН-20 КАТАЛИТИЧЕСК
- Page 80 and 81:
УМН-20 пленным части
- Page 82 and 83:
УМН-21 Получение сер
- Page 84 and 85:
УМН-22 СИНТЕЗ МЕДЬСО
- Page 86 and 87:
УМН-23 ВЫСОКОТЕМПЕР
- Page 88 and 89:
УМН-24 РЕГУЛИРОВАНИ
- Page 90 and 91:
УМН-24 ношению к гли
- Page 92:
Устные доклады
- Page 95 and 96:
УД-1 дики разделени
- Page 97 and 98:
УД-3 ФОТОКАТАЛИТИЧЕ
- Page 99 and 100:
УД-5 ФОТОКАТАЛИТИЧЕ
- Page 101 and 102:
УД-7 ТЕРМОДИНАМИЧЕС
- Page 103 and 104:
УД-8 Совет по гранта
- Page 105 and 106:
УД-10 ИССЛЕДОВАНИЕ У
- Page 107 and 108:
УД-12 КИНЕТИКА И МЕХ
- Page 109 and 110:
УД-14 ТЕСТИРОВАНИЕ К
- Page 111 and 112:
УД-16 ПРЕВРАЩЕНИЯ НИ
- Page 113 and 114:
УД-18 КИСЛОТНО-КАТАЛ
- Page 115 and 116:
УД-20 СТРУКТУРНЫЕ ОС
- Page 117 and 118:
УД-22 МОДЕЛИРОВАНИЕ
- Page 119 and 120:
УД-23 УСТАНОВЛЕНИЕ М
- Page 121 and 122:
УД-24 ПРЕВРАЩЕНИЕ МО
- Page 123 and 124:
УД-26 ОСОБЕННОСТИ ПР
- Page 125 and 126:
УД-28 ВОДОРОДНАЯ СВЯ
- Page 127 and 128:
УД-29 щего твёрдый п
- Page 129 and 130:
УД-31 НОВЕЙШИЕ НАПРА
- Page 131 and 132:
УД-32 КОНТРОЛЬ АКТИВ
- Page 133 and 134:
УД-34 НАНОКОМПОЗИТН
- Page 135 and 136:
УД-35 СТРОЕНИЕ И КАТ
- Page 137 and 138:
УД-37 СОСТАВ И КАТАЛ
- Page 139 and 140:
УД-39 КАТАЛИТИЧЕСКО
- Page 141 and 142:
УД-41 КАТАЛИТИЧЕСКИ
- Page 143 and 144:
УД-42 ИССЛЕДОВАНИЕ В
- Page 145 and 146:
УД-43 РАЗДЕЛЕНИЕ ОПТ
- Page 147 and 148: УД-45 КАРБОНИЛИРОВА
- Page 149 and 150: УД-46 ОСОБЕННОСТИ ПР
- Page 151 and 152: УД-48 РАЗРАБОТКА КАТ
- Page 153 and 154: УД-50 НАНЕСЕННЫЕ МЕТ
- Page 155 and 156: УД-52 К ВОПРОСУ ОБ ОП
- Page 157 and 158: УД-53 ИССЛЕДОВАНИЕ Ж
- Page 159 and 160: УД-54 Из полученных
- Page 162 and 163: СД-1 КИНЕТИЧЕСКОЕ И
- Page 164 and 165: СД-3 ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТР
- Page 166 and 167: СД-4 были обнаружен
- Page 168 and 169: СД-6 ПЕРСПЕКТИВЫ РА
- Page 170 and 171: СД-7 ИССЛЕДОВАНИЕ П
- Page 172 and 173: СД-8 ВЛИЯНИЕ СОСТОЯ
- Page 174 and 175: СД-10 КРИСТАЛЛОХИМИ
- Page 176 and 177: СД-11 (ГК). Показано,
- Page 178 and 179: СД-13 СИНТЕЗ НОВЫХ К
- Page 180 and 181: СД-14 ВЛИЯНИЕ ФУЛЛЕР
- Page 182 and 183: СД-16 УПРАВЛЕНИЕ КИН
- Page 184 and 185: СД-17 ВЛИЯНИЕ ПРЕДВА
- Page 186 and 187: СД-18 РАЗРАБОТКА ОСН
- Page 188 and 189: СД-19 ИЗУЧЕНИЕ ПРЕВР
- Page 190 and 191: СД-20 При сравнении
- Page 192 and 193: СД-21 углерода. Разм
- Page 194 and 195: СД-23 ОКИСЛЕНИЕ ТЕРП
- Page 196 and 197: СД-25 ПРОСТРАНСТВЕН
- Page 200 and 201: СД-28 ОСОБЕННОСТИ СТ
- Page 202 and 203: СД-30 ПОДХОД К СЕЛЕК
- Page 204 and 205: СД-31 образцов после
- Page 206 and 207: СД-33 ОКИСЛЕНИЯ ВОДО
- Page 208 and 209: СД-34 КОМПЛЕКСЫ ХЛОР
- Page 210 and 211: СД-35 ОСОБЕННОСТИ ФО
- Page 212 and 213: СД-37 ВЫСОКОЭФФЕКТИ
- Page 214 and 215: СД-39 МОДИФИКАЦИЯ ПО
- Page 216 and 217: СД-41 ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫ
- Page 218 and 219: N-АЛЛЕНИЛАЗОЛЫ В ДИ
- Page 220 and 221: СД-45 ВЛИЯНИЕ ПРИРОД
- Page 222 and 223: Список участников
- Page 224 and 225: Джикия Ольга Влади
- Page 226 and 227: Кожевников Иван Вя
- Page 228 and 229: Митькин Валентин Н
- Page 230 and 231: Старовойтова Елена
- Page 232 and 233: Авторский указател
- Page 234 and 235: СОДЕРЖАНИЕ Пленарн
- Page 236 and 237: УМН-12 Туктаров А.Р.,
- Page 238 and 239: УД-5 Козлова Е.А., Во
- Page 240 and 241: УД-23 Ковтунов К.В., К
- Page 242 and 243: УД-41 Мазов И.Н., Кузн
- Page 244 and 245: СД-2 Бокарев Д.А., Ег
- Page 246 and 247: СД-19 Пимерзин А.А., Н
- Page 248 and 249:
СД-35 Олексенко Л.П.,
- Page 252:
Всероссийская конф
Change language