elements33 - Evonik
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k atEGoRIE nEUE oDER vERbESSERtE vERfahREn<br />
Dr. Christian Götz<br />
Dr. Harald Klein<br />
Dr. Ekkehard Müh<br />
Dr. Hartwig Rauleder<br />
Geschäftsbereich<br />
Inorganic Materials<br />
Dr. Jürgen Lang<br />
Servicebereich<br />
Verfahrenstechnik &<br />
Engineering<br />
Siridion® HCDS 500 E<br />
ist ein wichtiger Rohstoff<br />
zur Herstellung<br />
von Flash-Speichern,<br />
wie sie in mobilen elektronischen<br />
Geräten<br />
verwendet werden<br />
nomInIERt füR DEn EvonIk-InnovatIonSpREIS 2010 25<br />
Siridion® HCDS 500 E:<br />
ein neuer Rohstoff für die<br />
Halbleiterindustrie<br />
Klein, erschütterungsfest und mit einer Speicherkapazität von derzeit<br />
bis zu 64 Gigabyte pro Chip erhältlich: Flash-Speicher sind das<br />
ideale Transportmittel, um Daten mit auf Reisen zu nehmen. Sie<br />
stecken in Smartphones, Digitalkameras und MP3-Playern, in USB-<br />
Sticks und Tablet-PCs und stellen einen attraktiven Wachstumsmarkt<br />
dar, getrieben vom Wunsch der Verbraucher, immer mehr<br />
Informationen auf kleinstem Raum unterzubringen. Dazu müssen<br />
jedoch die Strukturen auf dem Chip weiter schrumpfen, um so die<br />
Transistoren dichter packen zu können. Modernste Fertigungsverfahren<br />
für die Massenproduktion von Flash-Speichern arbeiten<br />
heute bereits mit Strukturgrößen von 25 Nanometern (ca. 3.000-mal<br />
kleiner als der Durchmesser eines menschlichen Haares). Neue<br />
Generationen mit noch feineren Strukturbreiten sind aber bereits<br />
in der Pipeline der großen Speicherchiphersteller.<br />
Ein Technologiesprung, für den <strong>Evonik</strong> gut gerüstet ist: mit<br />
Siridion® HCDS 500 E (Hexachlordisilan). Mit dem siliziumhaltigen<br />
Rohstoff lassen sich durch chemische Gasphasenabscheidung die<br />
hauchdünnen, funktionellen Schichten erzeugen, die für diese feinen<br />
Strukturen notwendig sind. Verglichen mit etablierten siliziumhaltigen<br />
Rohstoffen weist HCDS überragende Eigenschaften auf, mit<br />
denen bei niedrigen Temperaturen uniforme und dichte Filme abgeschieden<br />
werden können.<br />
Möglich macht dies ein neues, plasmabasiertes und patentgeschütztes<br />
Herstellungsverfahren, das HCDS in hochreiner Form<br />
liefert. Im September 2010 nahm <strong>Evonik</strong> in Rheinfelden eine erste<br />
Pilotanlage in Betrieb, die pro Jahr 1.000 kg Siridion® HCDS 500 E<br />
liefert. Und da die Pilotanlage bereits voll ausgelastet ist, wird schon<br />
eine Erweiterung der Produktion um weitere 5.000 kg pro Jahr<br />
geplant – ein vergleichsweise leichtes Unterfangen, da das für den<br />
Innovationspreis nominierte Team ein sehr robustes und gut skalierbares<br />
Produktionsverfahren entwickelt hat. Hier konnten die<br />
Vorteile einer flexiblen Verfahrensentwicklung in der modularen<br />
Containeranlage voll genutzt werden. Verhandlungen über den Ver-<br />
kauf dieser Mehrmengen sind in vollem Gange. Es bestehen sehr<br />
gute Wachstumschancen, denn neben den tragbaren mobilen Geräten<br />
sind auch Computer ein wachsender Markt für die schnellen<br />
Flash-Speicher: Sie nutzen zunehmend statt der üblichen Festplatte<br />
so genannte Solid State Drives, die ebenfalls aus Flash-Speicher chips<br />
bestehen. Siridion® HCDS 500 E reiht sich so nahtlos in die über -<br />
aus erfolgreiche Produktfamilie der Marke Siridion® ein, unter der<br />
<strong>Evonik</strong> Schlüsselrohstoffe für die Herstellung von Solarsilizium,<br />
optischen Glasfasern, Halbleitern und Flachbildschirmen anbietet.<br />
<strong>elements33</strong> Ausgabe 4|2010
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