EF 2017

Messtechnik
Schnelle Prozessüberwachung
Optische Messtechnik unterstützt Qualitätskontrolle des Laser-Dioden-Herstellers Lumics GmbH
Messung eines 3-Zoll-Wafers zur Ermittlung von Ätztiefen und Lackdicken
Wafer-Analyse mit dem Confovis
Messsystem ConfoSurf CLV150 im
Gelbraum von Lumics
Confovis sorgt mit detaillierten
Messdaten für umfangreiche Informationen
zu der Prozess- und Produktqualität
beim Laser-Dioden-
Hersteller Lumics GmbH. Dieser
brauchte für die Messung von
Mikrostrukturen ein Messsystem,
das schnell, zuverlässig und zerstörungsfrei
unterschiedlichste
Proben analysieren kann. Mit dem
konfokalen Messsystem CLV150
können Oberflächenmerkmale,
die im Mikro- und Nanometerbereich
liegen, präzise spezifiziert,
Fertigungsprozesse deutlich verbessert
und die Qualität der gefertigten
Dioden genauer überwacht
werden - ganz zu Gunsten der
Endkunden, die von erhöhter Leistung
und Lebensdauer der Dioden
profitieren.
Die Lumics GmbH entwickelt
und produziert Hochleistungslaserdioden
und Diodenlasermodule. Als
eines der wenigen Unternehmen in
der Branche verfügt es über eine
eigene Chipfertigung. „Wir können
individuell auf Kundenwünsche
eingehen und entsprechende
Dioden entwickeln und liefern“, so
Alexander Kaebe, Prozess-Manager
bei Lumics. Ein Hauptmarkt des
Unternehmens ist der Medizinbereich.
Dort werden die Module als
OEM-Produkte in komplexen Geräten
verbaut. Darüber hinaus bedient
Lumics auch Anwendungen in der
Materialbearbeitung und im Bereich
Sensorik. Im Hinblick auf die Qualität
erwarten die Kunden zuverlässige
und langlebige Produkte. Dabei
muss auch bei größeren Liefermengen
über längere Zeiträume eine
gleichbleibende Qualität gewährleistet
sein. Die Qualitätskontrolle
geht über alle Prozesse hinweg bis
hin zum fertigen Produkt. Die Dioden
bei Lumics werden einzeln getestet
und durchlaufen eine 100%ige
Qualitätskontrolle.
Messtechnik mit
entscheidendem Vorteil
Nicht zuletzt durch den Aufbau
eines neuen Produktionsbereiches,
der Lithographie, ergab sich für
das Unternehmen die Notwendigkeit
der Anschaffung von entsprechender
Messtechnik, die die Qualitätskontrolle
sowie die Prozessfehlersuche
unterstützt. Dabei setzt
das Unternehmen auf die hochpräzise
3D-Messtechnik der Confovis
GmbH. Diese bietet mit seinem
patentierten konfokalen Messverfahren
basierend auf der Structured
Illumination Microscopy (SIM)
eine deutliche Alter native zu einer
Vielzahl an gängigen Verfahren und
Systemen. „Vor allem die Möglichkeit,
schnell, genau und zerstörungsfrei
messen zu können, war ein ausschlaggebender
Punkt für die Entscheidung
für das Messsystem von
Confovis“, führt Herr Kaebe weiter
aus. „Bisher waren viele verschiedene
Messsysteme, wie REM, AFM,
Mikroskope u.a. erforderlich, um die
notwendigen Informationen zu erhalten.
Nun können wir alles mit einem
Messsystem lösen. “ Die Messung
mit dem REM war bisher durch die
Probenvorbereitung sehr aufwendig
und nicht zerstörungsfrei. Bei der
Vermessung der Strukturen durch
vorhandene Mikroskope war die Auflösung
nicht ausreichend, um Tiefen-
und Dickenmessungen durchzuführen.
Beide Problematiken konnten
mit der Anschaffung des Confovis
Messgerätes gelöst werden.
Hochauflösend, schnell und
bestens für transparente
Schichten geeignet
Mit dem ConfoSurf CLV150 kann
Lumics nun Mikrostrukturen, insbesondere
Strukturabmessungen,
Oberflächenbeschaffenheiten und
Dicken präzise messen und auswerten.
Vor allem bei der Optimierung
Confovis GmbH
www.confovis.com
3D-Bild des gemessenen Bereichs, erzeugtes Serienprofil des relevanten Bereichs und Bestimmung der
Strukturtiefe an den Gräben
188 Einkaufsführer Messtechnik & Sensorik 2017