Herstellung
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Bearbeiten der Kanten<br />
� Die Kanten der Wafer werden abgerundet, damit später kein Material absplittern kann<br />
� Runde Kanten sind auch wichtig, damit die Wulst des Photolacks beim Aufschleudern klein bleibt.<br />
Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 12
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