Herstellung
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Etch-back und Lift-Off<br />
� Zwei wichtige Techniken: (Etch-back ist Standard, Lift-Off z.B. bei Indium Bumping)<br />
Etch-Back: Lack=Ätzmaske Lift-Off: Lack schützt Substrat<br />
Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
Lack<br />
Lage<br />
Substrat<br />
Lack strukturieren<br />
ätzen<br />
Lack<br />
ablösen<br />
Lack<br />
Substrat<br />
Lage<br />
aufbringen<br />
Lift Off<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 26
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