Herstellung
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1. <strong>Herstellung</strong> reinen Siliziums<br />
2. Wachsen der Kristalle ('Ingots')<br />
3. Sägen der Ingots<br />
4. Schleifen und Polieren<br />
5. Qualitätskontrolle<br />
6. Evtl. Epitaxie<br />
Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
<strong>Herstellung</strong> der Wafer<br />
http://www.novawafers.com/Ingot.htm<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 2
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