Herstellung
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Bipolar-Struktur<br />
� Wichtig ist der 'vergrabene' Kollektorkontakt ('burried N')<br />
Er muß vor dem Epi-Schritt definiert werden. Jeder Run erfordert daher ein eigenes Epi, was teuer ist.<br />
Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 82
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