Herstellung
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Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
Lithographie: Belichter / Stepper<br />
Spiegel<br />
Lichtquelle<br />
Filter<br />
Kondensor<br />
Maske im<br />
Maßstab 4:1<br />
Verkleinerung x1 bis x10<br />
Objektiv<br />
Stepper, Reticle, ...<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 28
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