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Beugungslimit<br />
� Kommt man an das Beugungslimit L min = Wellenlänge des Lichts / numerische Apertur, so werden<br />
- Ecken abgerundet<br />
- Enden von Leitungen kürzer<br />
- Ecken außen teilweise ausgefüllt<br />
Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
Abbildung kleiner werdender Strukturen mit heutiger Technologie<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 35
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