Herstellung
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Ionenimplantation<br />
� Schwere Ionen werden im Festkörper durch sukzessive Abgabe ihrer kinetischen Energie gestoppt<br />
� Die meisten Ionen bleiben in einer 'festen' Tiefe stecken<br />
� Die Tiefe hängt vom Substratmaterial und der Ionenart und insbesondere von deren Energie ab<br />
Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
Wechselwirkung des Ions mit<br />
dem Kristallgitter<br />
⇒ Schädigung des Gitters !<br />
⇒ Annealing nötig<br />
Maximale Dosis<br />
in dieser Tiefe<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 41
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