Herstellung
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Vergleich Czochralski - Floatzone<br />
Methode CZ FZ<br />
Wachstumsgeschwindigkeit (mm/min) 1 to 2 3 to 5<br />
Kosten Verbrauchsmaterial hoch niedrig<br />
Heiz/Kühlzeit lang kurz<br />
Gleichförmigkeit Widerstand schlecht gut<br />
Sauerstoffgehalt (Atome/cm 3 ) >1x10 18 1x10 17
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