Herstellung
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Ionenimplantation<br />
� Die Tiefenverteilung als Funktion der Dosis ist sehr gut vorhersagbar (Hier: Bor mit 100keV)<br />
Digitale Schaltungstechnik - Technologie<br />
http://www.leb.e-technik.uni-erlangen.de/lehre/mm/html/start.htm<br />
© P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 44