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Digitale Schaltungstechnik - Technologie Stepper © P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 30
Das Reticle � Die Größe der Maske ist meist auf einige cm 2 beschränkt. � In diesem 'Reticle' sind oft mehrere Chips gesammelt. � Viele Reticles werden nebeneinander angeordnet � Bei der Anordnung der Chips im Reticle muß an das Aussägen der Chips gedacht werden!!! � Manchmal sind auf einem Wafer unterschiedliche Reticles vorhanden ('Stiching' für größere Strukturen, Alignierungsmarken) Chip1 Chip2 Chip2 Reticle Digitale Schaltungstechnik - Technologie Chip1 Chip2 Chip1 Chip2 Chip1 Chip2 Chip2 Chip2 Chip2 Chip1 Chip2 Chip2 Chip1 Chip2 Chip2 Chip1 Chip2 Chip2 Ausschnitt aus Wafer. Aussägen ist problematisch: nur Chip2 kann direkt entnommen werden. © P. Fischer, ziti, Uni Heidelberg, Seite 31
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