Industrielle Automation 3/2019
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SENSORIK UND MESSTECHNIK<br />
Wahre Tausendsassa<br />
Miniaturisierte Piezokeramiken und ihre Anwendungen<br />
Piezoelektrische Komponenten<br />
sind extrem vielseitig. Sie lassen<br />
sich für die unterschiedlichsten<br />
Anwendungen im Sensorikbereich<br />
nutzen und durch ihre winzigen<br />
Abmessungen und verschiedensten<br />
Formen hervorragend integrieren.<br />
Die Einsatzbereiche von Piezokeramiken<br />
in Aktorik und Sensorik sind breit gefächert<br />
und ziehen sich durch viele unterschiedliche<br />
Branchen, denn sie erreichen<br />
hohe Dynamik mit Frequenzen bis zu<br />
mehreren Tausend Hertz und können so<br />
z. B. Ultraschallschwingungen in Gasen<br />
oder Flüssigkeiten erzeugen. Es gibt keine<br />
mechanischen Komponenten, die die Auflösung<br />
durch Reibung begrenzen würden,<br />
und auch keinen mechanischen Verschleiß,<br />
da die Bewegung auf kristallinen Festkörpereffekten<br />
beruht. In Halbleiter- oder<br />
Siliziumphotonik-Anwendungen beispielsweise<br />
können so adaptive Feinjustierungen<br />
von miniaturisierten optischen Elementen<br />
vorgenommen werden, also von Linsen<br />
oder Austrittsflächen von Glasfasern sowie<br />
von Spiegeln. Ebenso entstehen miniaturisierte<br />
Aktoren und Sensoren für die Nanodosierung<br />
und -fluidik oder präzise, miniaturisierte<br />
Abstandsmessungen. Da sie sehr<br />
Annemarie Österle, PI Ceramic, Lederhose;<br />
M.A. Ellen-Christine Reiff,Redaktionsbüro Stutensee<br />
kompakt sind, also bei kleinem<br />
Bauraum hohe Effizienz bieten,<br />
können auch Antriebe für mobile<br />
Geräte oder die Lab-on-a-Chip-Technik<br />
realisiert werden.<br />
Verschiedenste Formen<br />
So unterschiedlich wie die Anwendungen<br />
sind allerdings auch die Anforderungen,<br />
die die piezokeramischen Sensor- oder<br />
Aktorelemente erfüllen müssen. PI Cera -<br />
mic bietet piezoelektrische Komponenten<br />
deshalb in ganz unterschiedlichen Ausführungen,<br />
verschiedenen, auch bleifreien,<br />
Piezomaterialien und in vielen Geometrien<br />
an, wie Scheiben, Platten, Rohre, Quader<br />
oder in nahezu beliebigen Sonderformen<br />
und OEM-Anpassungen. Die unterschiedlichen<br />
Formen können mit Außenabmessungen<br />
von kleiner 1 mm hergestellt werden.<br />
Piezokeramiken können eine hohe Dynamik mit Frequenzen<br />
bis zu mehreren Tausend Hertz erreichen<br />
Vakuumkompatible Ausführungen sind<br />
ebenso möglich wie spezielle, anwendungsspezifische<br />
elektrische Anschlüsse, die Integration<br />
in vom Anwender bereit gestellte<br />
oder entwickelte Bauelemente sowie das<br />
Verkleben und der Verguss. Den Anwendungsmöglichkeiten<br />
sind dadurch kaum<br />
Grenzen gesetzt.<br />
Piezoröhrchen beispielsweise bieten eine<br />
radiale und axiale Auslenkung oder, segmentiert<br />
angesteuert, eine Scan-Bewegung<br />
in der XY-Ebene. Sie werden mit engsten<br />
Toleranzen gefertigt (0,05 mm) und können<br />
serienmäßig mit kleinsten Durchmessern<br />
von kleiner 0,8 mm hergestellt werden. Sie<br />
eignen sich z. B. als Miniaturscanner, in<br />
Alignment-Systemen zur Regelung eines<br />
optischen Signals oder werden zum Beispiel<br />
in medizinischen Endoskopen eingesetzt.<br />
Wahre Bewegungstalente in<br />
Scanning-Anwendungen<br />
Ein Beispiel dafür ist ein neuartiges scannendes<br />
Katheter-Endoskop (SFE) für die<br />
großflächige, vollfarbige Bildgebung mit<br />
nur 1 mm Durchmesser. Dieses scannende<br />
Faser- oder Katheterendoskop ermöglicht<br />
hochwertige, laserbasierte Videobilder bei<br />
Die resonante optische Single-Mode-Faser wird seitlich von einem rohrförmigen<br />
piezoelektrischen Aktor in einem kompakten koaxialen Design angetrieben<br />
18 INDUSTRIELLE AUTOMATION 3/<strong>2019</strong>