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1.2 Stand der Technik 6<br />
Laser<br />
dRef<br />
Spiegel<br />
ψ Ref<br />
Detektor<br />
ψ Obj<br />
dObj<br />
Abbildung 4: Messprinzip des Michelson-Interferometers<br />
Interferometrische Verfahren nutzen den Wellencharakter des Lichts aus.<br />
Ein klassisches Beispiel für eine präzise Entfernungsmessung ist das Michelson-Interferometer,<br />
siehe Abb. 4. Ein halbdurchlässiger Spiegel teilt einen<br />
monochromatischen Lichtstrahl in Richtung Referenzebene und Objekt auf.<br />
Die Lichtstrahlen werden an der Referenzebene und dem Objekt so reflektiert,<br />
dass sie den halbdurchlässigen Spiegel ein zweites Mal passieren und<br />
zusammen auf einen Detektor treffen. Vor dem Detektor überlagern sich die<br />
<strong>bei</strong>den Wellenfelder, so dass ein Interferenzmuster entsteht.<br />
Die <strong>bei</strong>den monochromatischen optischen Wellen beschreibt die Wellenfunktion.<br />
Sie wird für die Referenzebene und das Objekt von den zeitunabhängigen<br />
komplexen Amplituden<br />
ψ =<br />
Ref √ pARef · e j2πdRef λ<br />
ψ =<br />
Obj √ pAObj · e j2πdObj λ<br />
repräsentiert, <strong>bei</strong> der pA die optische Intensität (Leistungsdichte, optische<br />
Strahlungsleistung pro Fläche) ist. Der Abstand zwischen der Achse des vom<br />
Laser ausgesandten Lichtstrahls und der Referenzebene (Spiegel) ist die bekannte<br />
Größe dRef. dObj ist der Abstand zwischen dem Objekt und dem am<br />
Objekt
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