You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
“Young Scientist” . #3 (50) . March 2013 Technical Sciences<br />
Результаты эксперимента<br />
При варьировании условий синтеза были получены<br />
образцы наноматериалов на основе металлооксидов с<br />
помощью специально созданной установки на кафедре<br />
микро- и наноэлектроникиCVD-установки. Полученные<br />
образцы были исследованы методом электронографии и<br />
была выявлена возможность создания пленочных наноструктур<br />
на основе оксида олова и станната цинка (рис.<br />
2) толщиной 40–610 нм методом химического осаждения<br />
из паровой фазы при температурах разложения исходных<br />
солей металлов 70–200 °С и осаждения продуктов разложения<br />
в зоне расположения подложек при температуре<br />
500 °С.<br />
Выявлено, что дополнительный отжиг при температуре<br />
600 °С в атмосфере воздуха в течение 20 минут приводит к<br />
окислению SnO до SnO 2<br />
Исследуя морфологию пленочных наноструктур методом<br />
АСМ, было установлено, что полученные материалы<br />
представляются собой пористые системы (рис. 3),<br />
состоящие из агрегированных частиц размером от де-<br />
Рис. 1. Изображение лабораторной установки<br />
41<br />
сятков до сотен нанометров и пор, являющихся промежутками<br />
между частиц. [14–15]<br />
Установлено, что при осуществлении процесса транспортировки<br />
продуктов разложения неорганических<br />
солей металлов увлажненным воздухом средняя высота<br />
выступов зерен станната цинка с диаметром, равным 30–<br />
180 нм, на подложке окисленного кремния, составила 94<br />
нм, а средняя высота выступов зерен станната цинка с<br />
диаметром, равным 50–150 нм, на подложке пористого<br />
кремния – 82 нм.<br />
При проведении реакций гидропиролитического синтеза<br />
в атмосфере сухого воздуха средняя высота выступов<br />
зерен станната цинка с диаметром менее 50 нм составила<br />
12 нм. Показано, что изменяя условия синтеза можно<br />
управлять размером зерен и пор корпускулярно – пористых<br />
наносистем.<br />
Исследование синтезированных образцов методом<br />
спектроскопии импеданса проводилось при фиксированной<br />
комнатной температуре, в пяти режимах:<br />
– в потоке атмосферного воздуха;<br />
– в потоке атмосферного воздуха в присутствии паров<br />
ацетона;<br />
Рис. 2. (а) и (б) расшифровка образцов 12CVDK32 и 12CVDK13
Change language