in-situ röntgendiffraktion zur charakterisierung von mechanischen ...

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Abbildung 4.35: TEM Aufnahme einer 600nm Al-Schicht. Eine große Anzahl von Versetzungslinien kann beobachtet werden. Dies zeigt eindeutig, dass Versetzungsplastizität in Schichten >400nm Schichtdicke der ein wichtiger plastischer Deformationsmechanismus ist. 4. Ergebnisse und Diskussion Die Pfeile in Abbildung 4.35 markieren eine große Anzahl von Versetzungslinien in einem Korn. Damit kann belegt werden, dass plastische Verformungen in Schichten mit h>400nm über Versetzungsplastizität dominiert werden. Also erfolgt die Beschreibung des plastischen Verhaltens von Schichten mit h>400nm Dicke über das Nix-Freund Model [131, 132,133]. So wird angenommen, dass durch kleiner werdende Dimensionen (Korngröße, Schichtdicke) ein Unterdrücken von Versetzungsquellen erfolgt. Es stauen sich bereits existierende Versetzungen an Grenzflächen auf, Rückspannungen bauen sich auf, und es wird für die Quellen schwieriger, neue Versetzungen zu emittieren. Damit kommt es zu einem ausgeprägten Anwachsen der Spannungen mit abnehmender Schichtdicke (vgl. Abbildung 4.34, h>400nm). In Schichten mit Schichtdicken von h
Abbildung 4.36: TEM Bild einer 50nm Al Schicht unter Verwendung des selben Streuvektors wie in Abbildung 4.35. Es zeigen sich äußerst wenige Versetzungen in einigen großen Körnern (markiert durch Pfeile). In kleinen Körnern können keine Versetzungen beobachtet werden. Damit wird ausgeschlossen, dass Versetzungsplastizität der dominierende Deformationsmechanismus in Schichten
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IN-SITU RÖNTGENDIFFRAKTION ZUR CHA
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Gedanken … There are two types of
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Kurzzusammenfassung Die Hauptaufgab
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possibility to determine experiment
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Inhaltsverzeichnis 3.4 Mikroskopie
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1. Einleitung 1.1 Motivation 1. Ein
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1.2 Röntgenographische Spannungsme
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1. Einleitung Dehnungszustandes kan
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1. Einleitung 1.3 Bisherige Arbeite
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1.4 Ziel der Arbeit 1. Einleitung E
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2. Theorie Um vom allgemeinen Fall
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2. Theorie Laut Hookschem Gesetz gi
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2.2 Die sin 2 ψ - Methode 2. Theor
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2. Theorie 2.2.2 Grundgleichung fü
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Etwas verkürzt angeschrieben gesta
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2. Theorie Ergibt sich also ein lin
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2. Theorie Darum erfolgt zur eindeu
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2.4.2 Spannungsberechnung aus der S
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3. Experimentelle Methoden 3. Exper
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3. Experimentell (a) (b) Abbildung
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3. Experimentell Kombinationsmethod
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3. Experimentell ebenfalls zu Kornw
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3. Experimentell Krümmungsmessung
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Abbildung 3.6: Veranschaulichung de
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3. Experimentell 3.4 Mikroskopie Zu
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Abbildung 3.7: Prinzipieller Aufbau
Seite 53 und 54: 3. Experimentell begründet durch d
Seite 55 und 56: 4. Ergebnisse und Diskussion 4. Erg
Seite 57 und 58: Abbildung 4.1: GaN(10.0)-θ/2θ und
Seite 59 und 60: 4. Ergebnisse und Diskussion Krista
Seite 61 und 62: 4.1.3 Spannungen als Funktion der T
Seite 63 und 64: 4. Ergebnisse und Diskussion Verhal
Seite 65 und 66: 4.2 Experimentelle Bestimmung von R
Seite 67 und 68: 4. Ergebnisse und Diskussion Es ist
Seite 69 und 70: 4. Ergebnisse und Diskussion Wie be
Seite 71 und 72: δa/δsin 2 ψ (nm) 0.005 0.004 0.0
Seite 73 und 74: 4. Ergebnisse und Diskussion 2θ=95
Seite 75 und 76: 4. Ergebnisse und Diskussion Tabell
Seite 79 und 80: 4.3 Temperaturabhängige Substratkr
Seite 81 und 82: ∆ω (°) 0.5 0.0 -0.5 -1.0 RT 100
Seite 83 und 84: ∆ω (°) 0.4 0.3 0.2 0.1 0.0 RT 1
Seite 85 und 86: σ inpl (MPa) -1600 -1800 -2000 -22
Seite 87 und 88: 4. Ergebnisse und Diskussion 4.4 Er
Seite 91 und 92: σ inpl (MPa) 300 200 100 0 Tempera
Seite 93 und 94: 4. Ergebnisse und Diskussion 4.4.4
Seite 95 und 96: 4. Ergebnisse und Diskussion Abbild
Seite 97 und 98: (c) 4. Ergebnisse und Diskussion Ab
Seite 99 und 100: 4. Ergebnisse und Diskussion Zur r
Seite 101 und 102: 4. Ergebnisse und Diskussion Vergle
Seite 103: 4. Ergebnisse und Diskussion Dieses
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Seite 109 und 110: 5. Zusammenfassung 5. Zusammenfassu
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Seite 113 und 114: 5. Zusammenfassung überlagert sich
Seite 115 und 116: 6. Publikationen 6. Publikationen I
Seite 117 und 118: 6. Publikationen Seite 110
Seite 127 und 128: 6.3 Combined elastic strain and mac
Seite 139 und 140: 6. Publikationen 6.5 Size independe
Seite 149 und 150: 6.6 Publications, not includes in t
Seite 151 und 152: Anhang 7.1.2 REK, Berechnung nach R
Seite 153 und 154: Literatur [28] I.C. Noyan, J.B. Coh
Seite 155 und 156:
Literatur [101] S. Sienz, J.W. Gerl
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