in-situ röntgendiffraktion zur charakterisierung von mechanischen ...
in-situ röntgendiffraktion zur charakterisierung von mechanischen ...
in-situ röntgendiffraktion zur charakterisierung von mechanischen ...
Sie wollen auch ein ePaper? Erhöhen Sie die Reichweite Ihrer Titel.
YUMPU macht aus Druck-PDFs automatisch weboptimierte ePaper, die Google liebt.
∆ω (°)<br />
4 RT<br />
100 °C<br />
200 °C<br />
300 °C<br />
3 400 °C<br />
2<br />
1<br />
0<br />
0 2 4 6 8 10 12 14<br />
4. Ergebnisse und Diskussion<br />
∆x (mm)<br />
Abbildung 4.19: Substratkrümmung <strong>von</strong> TiN auf Si(100) als Funktion der Temperatur.<br />
Wie <strong>in</strong> Abbildung 4.18 entsprechen die offenen Symbole dem Heiz- und die gefüllten<br />
Symbole dem Abkühlvorgang. Es zeigt sich, dass die Änderung <strong>von</strong> ∆ω (>1°) über den<br />
Messbereich ∆x <strong>in</strong> jedem Falle möglich ist. Die l<strong>in</strong>earen Zusammenhänge bei positiven<br />
Steigungen zeigen, dass auch bei Krümmungsradien
Change language