in-situ röntgendiffraktion zur charakterisierung von mechanischen ...

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4. Ergebnisse und Diskussion Ausgleichsgeraden ein, wogegen bei der Berechnung von s1 Al(331) (Gleichung (2.29)) nur der Netzebenenabstand bei ψ=0° verwendet wird. Damit wirken sich sowohl Messfehler als Folge von Dejustage der Probe zum euzentrischen Punkt des Goniometers, aber auch Fehler beim Fitten im sin 2 ψ-Graph auf die Berechnung von 0.5·s2 Al(331) aus. In Zusammenhang mit dem großen Fehler der experimentellen REK kann keine Aussage über die Temperaturabhängigkeit der REK gemacht werden. Um derartige Einflüsse beurteilen zu können, muss eine Fehlertoleranz von ∆si~10% erfüllt sein. Da die vorliegenden Messergebnisse nicht zur Beurteilung von Temperaturabhängigkeiten der REK herangezogen werden können, wurde in der Studie auch keine Untersuchung von Korngröße, Mikrostruktur oder plastischem Verhalten in der Schicht durchgeführt. Es soll hier nur erwähnt werden, dass streng genommen zur Berechnung der REK keine reine Elastizität mehr angenommen werden dürfte, da während des thermischen Belastungszyklus Plastizität in der Schicht stattgefunden hat. Der Übergang zu Plastizitätstheorie gestaltet sich jedoch als äußert komplex, und die Modelle für plastisches Verhalten von dünnen Schichten sind aktuell noch nicht vollständig verstanden [127]. Aus diesem Grunde wird bewusst auch im Bereich einsetzender Plastizität bei >200°C die Beschreibung mittels elastischem Verhalten fortgeführt. Weiters gilt festzuhalten, dass die Streuung der Messwerte mit steigender Temperatur zunimmt. Dies kommt daher, dass die Dejustage des gesamten Messaufbaus mit zunehmender Temperatur zunimmt. Eine Abschätzung der Dejustage des Messpunktes der sin 2 ψ Messung durch variierende Krümmungsradien zeigt, dass bei einer Änderung des Krümmungsradius von RRT=0.4m auf R350°C=-1.5m eine Höhendifferenz von ∆z=~0.05mm zur Folge hat. Diesem Fehler überlagern sich noch thermische Dehnungen der Heizkammer. Zur Vermeidung dieser Fehlereinflüsse ist für den Einsatz der Heizkammer zur Messung mit der Kombinationsmethode eine Überarbeitung der Probeneinspannung zwingend von Nöten. Ein möglicher Ansatz zur Optimierung ist in Kapitel 4.4.5 angeführt. 4.4.5 Mögliche Abänderung der Probenhalterung zur Vermeidung von Fehlerquellen durch unzureichende Probenpositionierung Um die Probleme bei temperaturabhängigen sin 2 ψ Messungen beseitigen zu können, muss die Probenhalterung der Heizkammer in Kapitel 3.5.2 modifiziert werden. So darf sich der Messpunkt mit variierender Substratkrümmung nicht verschieben. Damit ist die bestehende Probenhalterung unbrauchbar. Eine mögliche Lösung des Problems kann durch eine Fixierung der Probe im Punkt der sin 2 ψ Messung erfolgen. Abbildung 4.30 zeigt eine derartige Möglichkeit der Probenfixierung. Seite 87
4. Ergebnisse und Diskussion Abbildung 4.30: Eine Möglichkeit zur alternativen Probenbefestigung einer gekrümmten Probe in der Heizkammer aus Kapitel 3.5.2. P steht hier für die Probe, PH für den Probenhalter, MP gibt den Messpunkt der sin 2 ψ-Messung an und TE steht für das Thermoelement Messung zur Probentemperatur. Verständlicherweise ist eine solche Probenfixierung äußerst instabil gegenüber Verkippungen der Probe um die Achse der Einspannung. Daher muss zum Test der Funktionalität ein Prototyp entwickelt und Spezifikationsmessungen durchgeführt werden. Dies wurde in der vorliegenden Arbeit noch nicht durchgeführt, sondern soll nur eine Möglichkeit zur Modifikation aufzeigen. Seite 88
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IN-SITU RÖNTGENDIFFRAKTION ZUR CHA
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Gedanken … There are two types of
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Kurzzusammenfassung Die Hauptaufgab
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possibility to determine experiment
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Inhaltsverzeichnis 3.4 Mikroskopie
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1. Einleitung 1.1 Motivation 1. Ein
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1.2 Röntgenographische Spannungsme
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1. Einleitung Dehnungszustandes kan
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1. Einleitung 1.3 Bisherige Arbeite
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1.4 Ziel der Arbeit 1. Einleitung E
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2. Theorie Um vom allgemeinen Fall
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2. Theorie Laut Hookschem Gesetz gi
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2.2 Die sin 2 ψ - Methode 2. Theor
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2. Theorie 2.2.2 Grundgleichung fü
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Etwas verkürzt angeschrieben gesta
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2. Theorie Ergibt sich also ein lin
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2. Theorie Darum erfolgt zur eindeu
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2.4.2 Spannungsberechnung aus der S
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3. Experimentelle Methoden 3. Exper
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3. Experimentell (a) (b) Abbildung
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3. Experimentell Kombinationsmethod
Seite 43 und 44: 3. Experimentell ebenfalls zu Kornw
Seite 45 und 46: 3. Experimentell Krümmungsmessung
Seite 47 und 48: Abbildung 3.6: Veranschaulichung de
Seite 49 und 50: 3. Experimentell 3.4 Mikroskopie Zu
Seite 51 und 52: Abbildung 3.7: Prinzipieller Aufbau
Seite 53 und 54: 3. Experimentell begründet durch d
Seite 55 und 56: 4. Ergebnisse und Diskussion 4. Erg
Seite 57 und 58: Abbildung 4.1: GaN(10.0)-θ/2θ und
Seite 59 und 60: 4. Ergebnisse und Diskussion Krista
Seite 61 und 62: 4.1.3 Spannungen als Funktion der T
Seite 63 und 64: 4. Ergebnisse und Diskussion Verhal
Seite 65 und 66: 4.2 Experimentelle Bestimmung von R
Seite 67 und 68: 4. Ergebnisse und Diskussion Es ist
Seite 69 und 70: 4. Ergebnisse und Diskussion Wie be
Seite 71 und 72: δa/δsin 2 ψ (nm) 0.005 0.004 0.0
Seite 73 und 74: 4. Ergebnisse und Diskussion 2θ=95
Seite 75 und 76: 4. Ergebnisse und Diskussion Tabell
Seite 79 und 80: 4.3 Temperaturabhängige Substratkr
Seite 81 und 82: ∆ω (°) 0.5 0.0 -0.5 -1.0 RT 100
Seite 83 und 84: ∆ω (°) 0.4 0.3 0.2 0.1 0.0 RT 1
Seite 85 und 86: σ inpl (MPa) -1600 -1800 -2000 -22
Seite 87 und 88: 4. Ergebnisse und Diskussion 4.4 Er
Seite 91 und 92: σ inpl (MPa) 300 200 100 0 Tempera
Seite 93: 4. Ergebnisse und Diskussion 4.4.4
Seite 97 und 98: (c) 4. Ergebnisse und Diskussion Ab
Seite 99 und 100: 4. Ergebnisse und Diskussion Zur r
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Seite 103 und 104: 4. Ergebnisse und Diskussion Dieses
Seite 105 und 106: Abbildung 4.36: TEM Bild einer 50nm
Seite 107 und 108: 4. Ergebnisse und Diskussion (a) (e
Seite 109 und 110: 5. Zusammenfassung 5. Zusammenfassu
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Seite 113 und 114: 5. Zusammenfassung überlagert sich
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Seite 127 und 128: 6.3 Combined elastic strain and mac
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6.6 Publications, not includes in t
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Anhang 7.1.2 REK, Berechnung nach R
Seite 153 und 154:
Literatur [28] I.C. Noyan, J.B. Coh
Seite 155 und 156:
Literatur [101] S. Sienz, J.W. Gerl
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