in-situ röntgendiffraktion zur charakterisierung von mechanischen ...
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2. Theorie<br />
Dies kann als biaxialer hydrostatischer Spannungszustand angesehen werden. Dabei nimmt<br />
der Spannungstensor die folgende Form an:<br />
⎛σ<br />
<strong>in</strong>pl 0 0⎞<br />
⎜<br />
⎟<br />
⎜ σ <strong>in</strong>pl 0⎟<br />
G(2.5)<br />
⎜<br />
⎟<br />
⎝<br />
0⎠<br />
Die letzte Annahme ist aber nur gerechtfertigt, wenn sich das untersuchte Volumen<br />
dah<strong>in</strong>gehend verhält, dass sich dar<strong>in</strong> e<strong>in</strong>e große Anzahl <strong>von</strong> Körnern bef<strong>in</strong>det (≥10 5 ) und<br />
diese regellos angeordnet s<strong>in</strong>d, damit ke<strong>in</strong>e mechanische Anisotropie wie bei E<strong>in</strong>kristallen<br />
berücksichtigt werden muss. Gleichzeitig müssen die Bed<strong>in</strong>gungen für die freie Oberfläche<br />
gelten, was bedeutet, dass die Körner jeweils vom Substrat bis <strong>zur</strong> Oberfläche reichen. Bei<br />
dünnen Metallfilmen e<strong>in</strong>es isotropen Materials können diese Forderungen erfüllt se<strong>in</strong>, auch<br />
wenn e<strong>in</strong>e Fasertextur vorliegt. Mosaiktexturen und e<strong>in</strong>kristall<strong>in</strong>e Schichten erfüllen die<br />
Anforderungen im Allgeme<strong>in</strong>en nicht, da dabei ke<strong>in</strong>e zufällige Orientierung der der<br />
Kristallite bzgl. des Azimutalw<strong>in</strong>kels ϕ vorliegt.<br />
E<strong>in</strong>e weitere Forderung <strong>zur</strong> Möglichkeit der Annahme des biaxialen hydrostatischen<br />
Spannungszustandes <strong>in</strong> der Schicht ist die Isotropie des Substrates, auf dem die Schicht<br />
gewachsen wurde (z.B. Si(111)). Ist das Substrat anisotrop bezüglich der Richtungen e<strong>in</strong>s<br />
und zwei (Abbildung 2.1) so kommt es zu unterschiedlichen Dehnungen der Schicht und σ11<br />
unterscheidet sich wesentlich <strong>von</strong> σ22 (z.B. γ-LiAlO2(100), Kapitel 4.1).<br />
2.1.2 Spannungs- Dehnungskorrelation<br />
Man betrachtet e<strong>in</strong>e E<strong>in</strong>heitszelle e<strong>in</strong>es isotropen Materials (bestehend aus den drei<br />
Gitterpunkten a, b und c, vgl. Abbildung 2.2). Auf diese E<strong>in</strong>heitszelle wirkt <strong>in</strong> den Punkten a<br />
und b die homogene Kraft ± F11 <strong>in</strong> Richtung e<strong>in</strong>s. Als Folge der Kraft F11 kommt es <strong>in</strong> der<br />
E<strong>in</strong>heitszelle zu e<strong>in</strong>er elastischen Verschiebung der Gitterpunkte a und b <strong>in</strong> Richtung e<strong>in</strong>s<br />
(Dehnung, ε11). Bei e<strong>in</strong>er starren Verb<strong>in</strong>dung zwischen den Gitterpunkten ac und bc erfährt<br />
damit der Punkt c e<strong>in</strong>e Verschiebung <strong>in</strong> der Normalenrichtung zwei. Bezogen auf die<br />
Ausgangslage der Punkte erfolgt also für den Punkt c e<strong>in</strong>e Dehnung ε22. Wie <strong>in</strong> Abbildung<br />
2.2 ersichtlich, hat ε11 bezogen auf die E<strong>in</strong>heitszelle das umgekehrte Vorzeichen <strong>von</strong> ε22.<br />
Abbildung 2.2: Schematische Darstellung der Querkontraktion als Folge<br />
<strong>von</strong> uniaxialem Zug bei wirkender Kraft F11.<br />
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