Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

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UV-Prägen (UV imprint) im INA
Abbildung 55 zeigt teilweise abgelöste Prägeergebnisse. Bei diesen Prägungen blieb ein Teil
des Polymers bei der Trennung des Stempels und des Substrates am Stempel zurück.
Gründe dafür sind hier nicht Haftungsprobleme, sondern die Welligkeit des Substrates. Der
Stempel mit dem Prägematerial konnte nicht ganzflächig mit dem Substrat in Kontakt
gebracht werden.
Abbildung 55: Lichtmikroskopische Aufnahmen zweier Prägungen auf den Objektträger: Die Herkunft der großen
unausgefüllten Bereiche ist auf die Oberflächenwelligkeit der Objektträger zurückzuführen. Es konnte nicht exakt
parallel zur Substratoberfläche gestempelt werden.
Die Lösung dieses Problems bestand in der Verwendung ebenerer Substrate.
Bei Prägungen auf DBR-Spiegeln mit der obersten Schicht aus ZrOx traten Haftungsprobleme
zwischen dem DBR-Spiegel und dem Prägematerial auf (Abbildung 56). Teile des Polymers
blieben auf dem Stempel haften. Diese Erkenntnis wurde im Folgenden genutzt, um eine
erste Antihaftbeschichtung aus ZrOx auf den Stempel aufzubringen. Mit der dünnen ZrOx-
Schicht auf dem Stempel konnte eine Besserung des Haftproblems erreicht werden, jedoch
konnten Abrisse nicht gänzlich vermieden werden.