Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

6 Experimentelle Untersuchungen verschiedener Nanoimprint- Verfahren
Teile der in der Versuchsreihe verwendeten Substrate waren zuvor mit einem DBR
beschichtet worden, um sie im Anschluss an die Prägungen mit einem oberen DBR zu einem
Fabry-Pérot-Filterfeld kombinieren zu können. Dies soll Aufschluss darüber geben, ob die
Prägungen nicht nur unter dem Mikroskop homogen und für die Applikation brauchbar
aussehen, sondern ob ihre optischen Eigenschaften den Einsatz als Kavität eines Fabry-
Pérot-Filters wirklich zulassen. Zu diesem Zweck wurden die mit oberen und unteren DBR
ausgestatteten Proben bei der Firma OPN vermessen. Die OPN ist im Besitz eines wie in
Abschnitt 5.3 beschriebenen Messaufbaus mit der dazugehörigen Software. Abbildung 71
zeigt eine Messung bei einer eingestrahlten Lichtwellenlänge von 466 . Zu sehen ist die
Intensitätsverteilung in den verschiedenen Filterfeldern. Je heller ein Feld ist, desto höher
die Intensität des Lichts mit der Wellenlänge 466 . Die Auswertung der Proben ergab
eine hohe Homogenität der Felder für sich. Jedoch zeigte sich auch bei einigen Messungen,
dass die Gesamtprägung einen Keilfehler haben kann oder Licht den Filter an Stellen
passieren kann, an denen es nach dem Design reflektiert werden sollte.
Abbildung 71: Messergebnis eines FP-Filterfeldes mittels temporären Messaufbaus bei 466nm.
Die Ergebnisse aus der ersten Versuchsreihe mit einem transparenten zur Anlage
passenden Stempel sollten der Evaluierung dienen, ob sich eine signifikante Verbesserung
hinsichtlich der Kontaktfläche zwischen Stempel und Substrat bzw. Polymer, der
Homogenität der Gesamtprägung und der Vollständigkeit der Prägung nach dem Trennen
von Stempel und Substrat ergibt.
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