Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

6 Experimentelle Untersuchungen verschiedener Nanoimprint- Verfahren
Ergebnisse mit den opaken Stempeln
Trotz dieser Probleme sind die erzielten Ergebnisse besser als die zuvor vorgestellten des
Heiß- bzw. UV-Prägens am MA4.
Abbildung 66: Imprint-Ergebnisse in 5-facher (links) und 20-facher (rechts) Vergrößerung. Mesagröße: 100 µm;
Abstand zwischen den Mesen: 50 µm; Resist: mr-UVcur06.
Abbildung 66 zeigt zwei Lichtbild-Mikroskop-Aufnahmen der geprägten Flächen. Es sind
deutlich die gewünschten verschiedenen Höhen anhand der unterschiedlichen Farben zu
erkennen. Lufteinschlüsse im Polymer wie beim Prägen mittels MA4 (vgl. 6.2) sind dank des
Vakuums zwischen dem Stempel und dem Polymer nur wenig aufgetreten.
Abbildung 67: Imprint-Ergebnisse in 100-facher (links und rechts) Vergrößerung. Mesagröße: 100 µm; Resist: mr-
UVcur06.
Bei hoher Vergrößerung der einzelnen Strukturen, wie sie in Abbildung 67 zu sehen sind,
lassen sich die scharfen Kanten der Prägungen erkennen. Der leicht bläuliche Bereich
zwischen der exakten Kante und der Mesafläche deutet auf eine Abrundung hin und
resultiert vorwiegend aus dem Herstellungsverfahren des Stempels, d.h., diese Formen sind
schon im Stempel vorhanden, und zusätzlich aus dem Schrumpfen des Materials um 4 – 5%.
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