Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

Inhalt
Erklärung ...................................................................................................................................................................... I
Inhalt ............................................................................................................................................................................... I
Abbildungsverzeichnis ......................................................................................................................................... III
Tabellenverzeichnis ............................................................................................................................................ VIII
Abkürzungsverzeichnis .........................................................................................................................................IX
1 Zusammenfassung .........................................................................................................................................XI
2 Einleitung und Motivation: Bedeutung von miniaturisierten Spektrometern für
bestehende und neue Anwendungen ............................................................................................................... 1
I
2.1 Stand der Forschung auf dem Arbeitsgebiet der miniaturisierten Spektrometer ..... 2
2.2 Ziele, Methodik und Aufbau dieser Arbeit .................................................................................. 8
3 Theoretische Betrachtung von Spektrometern verschiedener Bauformen und
Grundprinzipien ........................................................................................................................................................ 9
3.1 Beschreibung grundlegender Begriffe der Spektroskopie ................................................... 9
3.2 Die optische spektrale Analyse ..................................................................................................... 11
3.3 Beschreibung von Spektrometern, basierend auf unterschiedlichen Licht
beugenden Elementen .................................................................................................................................... 13
3.4 Eine Auswahl theoretische Grundlagen zum Thema Licht ............................................... 18
3.4.1 Dünne Schichten und ihre Eigenschaften in der Optik ............................................. 24
3.4.2 Dünnschichtstapel und ihre Eigenschaften in der Optik .......................................... 28
3.4.3 Randbedingungen ..................................................................................................................... 28
3.4.4 Die Transfermatrixmethode: Beschreibung von Grenzflächen ............................. 29
3.4.5 Die Transfermatrixmethode: Beschreibung von mehrere Grenzflächen .......... 30
3.4.6 Eigenschaften nicht idealer Grenzflächen ...................................................................... 32
3.4.7 Idealer planarer Fabry-Pérot-Resonator ........................................................................ 33
3.4.8 Resonatormoden ....................................................................................................................... 34
3.5 Verlustbehafteter und nicht idealer Fabry-Pérot-Resonator ........................................... 35
3.6 Bragg-Spiegel ....................................................................................................................................... 42
3.7 Spektrometer, basierend auf Fabry-Pérot-Resonatoren ................................................... 45
4 Nanoimprint-Lithografie ........................................................................................................................... 49
4.1 Nanoimprint-Lithografie – Grundlegende Technologie ..................................................... 49
4.2 Vorteile und Potenzial der Nanoimprint-Lithografie .......................................................... 50