Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...
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Prägungen mit dem MA6 für den Spektrometer-Demonstrator<br />
Abbildung 74: WLI-Aufnahmen der Demonstratorprägung.<br />
Eine detailliertere Messung am WLI zeigt Abbildung 75. Es ist ein Ausschnitt des Filterfeldes<br />
<strong>zu</strong> sehen. Die einzelnen Mesen zeigen ein perfektes, im Sinne von „gewünschtes“,<br />
Erscheinungsbild nach ihrer Prägung. Sie besitzen eine homogene Oberfläche und keinerlei<br />
Lufteinschlüsse. Die unterschiedlichen Farben zeugen von ihren unterschiedlichen Höhen,<br />
welche im fertigen Demonstrator für die Transmission von unterschiedlichen<br />
Lichtwellenlängen sorgen.<br />
Auswertung<br />
Abbildung 75: Detaillierte WLI-Aufnahme der Demonstratorprägung.<br />
Tabelle 6: Tabelle <strong>zu</strong>r Auswertung der Prägungen mit dem MA6 für den Spektrometer-Demonstrator. Dargestellt<br />
sind die für diese Arbeit wesentlichen Parameter, um eine Nanoimprint-Technologie <strong>zu</strong> evaluieren, die <strong>zu</strong>r<br />
Herstellung eines auf <strong>Fabry</strong>-<strong>Pérot</strong>-Filtern basierenden Nanospektrometers geeignet ist.<br />
Parameter Prägungen mit dem MA6 für den Spektrometer-Demonstrator<br />
Kontaktfläche Mehr als 80 %<br />
Vollständigkeit Circa 80 %<br />
Lufteinschlüsse Unter 10 %<br />
Homogenität Sehr gut bis gut
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