Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

70
Heißprägemethode
der Strukturen bei der Trennung des Stempels vom Substrat. Da nach der ersten
Versuchsreihe das Nutzen der Heißprägetechnologie zum Erreichen der in dieser Arbeit
gesteckten Ziele ausgeschlossen wurde, fanden keinerlei weitere Untersuchungen statt, die
genannten Fehlermöglichkeiten zu analysieren.
Des Weiteren lassen sich der Stempel und das Substrat nach dem Prägen nicht
zerstörungsfrei trennen. Beim vorsichtigen Ablösen des Stempels vom Substrat zerbrach
dieser. Kleinste Splitter des Stempels hafteten noch an der Prägung und verunreinigten das
Ergebnis. Keine der durchgeführten Prägungen führte zu einem brauchbaren Ergebnis. In
Abbildung 35 sind exemplarisch zwei Stempel zu sehen. Der linke ist noch mit dem Substrat
verbunden und lässt sich nicht mehr ohne Gewalt trennen. Der rechte Stempel ist ein
Teilstück eines beim Trennungsversuch zerbrochenen Stempels. Deutlich sind zwischen
dem linken Stempel und dem Substrat farbige Ringe zu erkennen. Diese lassen auf einen
inhomogenen Abstand der beiden Flächen voneinander schließen. Trotz der elastischen
Dämpfungsunterlage konnte kein gleichmäßiger Druck aufgebaut werden, sodass die
Prägung inhomogen wurde.
Abbildung 35: Am INA hergestellte Stempel nach den Prägeversuchsreihen. Der linke Stempel ist noch mit dem
Substrat verbunden. Eine erfolgreiche Trennung war nicht möglich. Rechts zu sehen ist ein Teilstück eines bei einem
Trennungsversuch zerbrochenen Stempels.
Diese nicht zufriedenstellenden Prägeergebnisse und die Abschätzung des Potenzials
bezüglich ihrer Verbesserung führten zu dem Entschluss, nicht mit dem Heißprägen
fortzufahren. Ein weiterer Grund für diese Entscheidung ist der zu hohe Zeitbedarf je
Prägung. Durch den Aufheiz- und Abkühlzyklus benötigt diese Maschine etwa 45 Minuten
pro Prägung. Kombiniert mit dem Umstand, dass keinerlei Justage vorgenommen werden
kann, ist es nicht möglich, auf dieser Maschine die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Eine
ausführliche Analyse der Heißprägeprozesse an der in Braunschweig stehenden EVG501
wurde nach der Entscheidung, mit diesem Verfahren nicht zu arbeiten, nicht vorgenommen.
Auswertung