Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

6 Experimentelle Untersuchungen verschiedener Nanoimprint- Verfahren
(5) Das Aushärten des Polymers. Die Aushärtung erfolgt während des Prägeschritts im Mask
Aligner. Die aufgeschleuderte, flüssige Schicht wird mittels UV-Licht bei Raumtemperatur
gehärtet. Hierbei kommt die UV-Lampe 350 Hg des MA4 zum Einsatz.
Abbildung 48: Prägeschritt 3: Aushärten des Resists durch UV-Belichtung der Probe: schematischer Aufbau des
MA4-Prägetools am INA.
Und zuletzt (6) das Absenken des Chucks, um Stempel und Substrat sauber voneinander zu
trennen. Wichtig hierbei ist eine möglichst senkrechte Trennung der beiden Teile. Nach der
Trennung behält der Polymerfilm die Form der Stempelstruktur.
Abbildung 49: Prägeschritt 4: Absenken des Chucks: schematischer Aufbau des MA4-Prägetools am INA.
Ergebnisse, erzielt durch verschiedene Optimierungsversuche
Das Ziel einer Prägung ist die vollständige und präzise Abformung des Stempels in das zu
prägende Material. Optimal ist dabei eine möglichst dünne Restschicht zwischen Stempel
und Substrat. Abbildung 50 zeigt ein Beispiel dafür. Es handelt sich dabei um eine mit dem
MA4 geprägte Struktur. Die Strukturen sind voll gefüllt und besitzen scharfe Konturen.
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