Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

6 Experimentelle Untersuchungen verschiedener Nanoimprint- Verfahren
Herstellung eines Filterfeldes für den Demonstrator verwendet werden konnten. Positiv zu
bewerten sind die Verbesserungen, die hinsichtlich der Lufteinschlüsse erzielt wurden.
Durch das Aufbringen des Polymers direkt auf den Stempel füllten sich die Hohlräume und
es gelang, Defekte durch Lufteinschlüsse deutlich zu verringern. Dies geschah aber auf
Kosten der Polymerschichtdicke, die zunahm, und der Vollständigkeit, die durch Abrisse
und durch das Kleben von Polymerresten am Stempel kleiner wurde. Die Homogenität lässt
sich bei unvollständigen Prägungen mit vielen Defekten nur schwer bestimmen. Sie wird
hier mit „mittel bis schlecht“ bewertet.
Trotz all der in diesem Abschnitt beschriebenen Bemühungen gelang es nicht, vollständige
Prägungen zu generieren, die für die Herstellung eines Fabry-Pérot-Filterfeldes ausreichend
wären.
6.3 UV-Prägen (UV imprint) bei SÜSS MicroTec in Garching
Die in Abschnitt 6.1 und 6.2 dargestellten Versuche erbrachten keine ausreichende Qualität
der Prägungen, um zeigen zu können, dass es möglich ist, damit ein Fabry-Pérot-Filter-
basiertes Nanospektrometer zu fertigen. Somit folgt der Schritt weg von umgebauten nicht
professionellen Anlagen hin zu kommerziell erhältlichen Anlagen. In einer Kooperation mit
der Firma SÜSS MicroTec aus Garching entstanden Prägungen, die letzten Endes aufgrund
ihrer Qualität für die Applikation in Nanospektrometern verwendet werden konnten. Im
folgenden Abschnitt werden die verwendeten Methoden und Prozesse erläutert, vom
grundsätzlichen Prozess des Nanoimprints mittels MA6 über die nötigen Modifikationen für
die vom INA verwendeten Stempel bis hin zu Stempelentwicklungen, mit denen der Prozess
optimiert werden soll. Zum Schluss dieses Abschnittes werden die erzielten Ergebnisse
vorgestellt.
Abbildung 59: MA6 − optimiert für UV-NIL [159].
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