Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

Weitere Magazine

Empfehlungen

Info

48 Spektrometer, basierend auf Fabry-Pérot-Resonatoren Spektrum wird so beim Durchlaufen des Spektrometers in Intensitäten aufgeteilt, die mit den Etalons korrespondieren. Der gesamte hier vorgestellte theoretische Teil soll helfen die am Ende dieser Arbeit vorgestellten Ergebnisse der spektralen Analyse des FP-Filterfeldes beurteilen zu können. Dazu wurden theoretische Grundlagen vom Licht bis hin zu verschiedenen Spektrometertypen vorgestellt.
4 Nanoimprint-Lithografie In diesem Kapitel wird die Nanoimprint-Lithografie vorgestellt. Dabei werden die notwendigen Grundlagen geschaffen, die zum Verstehen des experimentellen Teils nötig sind. Zunächst werden die drei wesentlichen Grundmethoden, thermische NIL, UV-NIL und SCIL, vorgestellt und eine Einführung in die Prozessierung gegeben. Gleichzeitig sollen aber auch die Potenziale und Anwendungsgebiete der Nanoimprint-Lithografie erwähnt werden. Dabei geht es um die Vorteilhaftigkeit gegenüber traditionellen Lithografiemethoden wie Masken- oder Elektronenstrahl-Lithografie. Der kurze Einblick in die vielseitigen Anwendungsgebiete der NIL soll verdeutlichen, dass die Wissenschaftswelt zusammen mit der Industrie längst das Potenzial dieser Technologie in Produkte umgesetzt hat. Im Anschluss daran folgt ein Abschnitt mit pragmatischem Inhalt. Die grundsätzlichen Herstellungsmethoden von Stempeln werden vorangestellt, um dann auf die am INA hergestellten Stempel einzugehen, die in dieser Arbeit Anwendung fanden. In ähnlicher Weise wird das verwendete Prägematerial vorgestellt. Dieses Kapitel abschließend werden einige wichtige Nanoimprint-Varianten dargestellt, um dem Leser die Vielfalt der Nanoimprint-Ansätze näherzubringen. 4.1 Nanoimprint-Lithografie – Grundlegende Technologie Nachdem die Schrift von Chou et al. [26] veröffentlicht wurde, entstand aufgrund des dargestellten Potenzials ein großes Interesse an der NIL-Thematik. Weltweit wurden die Entwicklungen verschiedener NIL-Methoden vorangetrieben. Dabei wurden die zu prägenden Materialien, die Stempel und deren Material sowie der Prägeprozess selbst variiert. Die meisten dieser Ansätze lassen sich in die folgenden drei Gruppen einordnen oder sind eine Kombination dieser: Thermisches NIL (T-NIL) oder Heißprägen: Die Verwendung thermisch härtender Polymere für die Nanoimprint-Lithografie und der damit entstandene Prozess des Thermischen NIL ist der initiale Ansatz im Bereich des Prägens von Strukturen mit einer Größe in wenigstens einer Raumrichtung von wenigen Nanometern. Dabei wird das Polymer, um es verformbar zu machen, über seine Glastemperatur hinaus erhitzt. Als nächster Schritt wird der Stempel mit einem definierten Druck in das Polymer gedrückt. Dabei nimmt das Polymer die negative Form des Stempels an. Um diese Strukturen zu fixieren, wird das Polymer unter die Glastemperatur abgekühlt, solange der Stempel noch in Kontakt ist. Als letzter Schritt wird der Stempel entfernt und die geprägten Strukturen bleiben im Polymer erhalten [26]. Mittels ultravioletten Lichts aushärtende Polymere, heute bekannt als UV-NIL, wurden zunächst veröffentlich als „step-and-flash lithography“ (SFIL): Im Unterschied zu dem T- NIL-Ansatz wird bei diesem das zu prägende Material nicht erhitzt, um es formbar zu machen. Stattdessen wird der Effekt einer Polymervernetzung, ausgelöst durch die Bestrahlung mit UV-Licht während des Prägeprozesses, ausgenutzt, um das zunächst 49
Seite 1:
Florestan Köhler Untersuchungen zu
Seite 5:
Meinen Eltern und meinem Bruder
Seite 9 und 10:
Inhalt Erklärung .................
Seite 11 und 12:
Abbildungsverzeichnis Abbildung 1:
Seite 13 und 14:
den Vakuumeinlasslöchern und den e
Seite 15 und 16:
Abbildung 73: Lichtmikroskopaufnahm
Seite 17 und 18: Abkürzungsverzeichnis Abkürzung B
Seite 19: 1 Zusammenfassung Die spektrale Zus
Seite 22 und 23: 2 Stand der Forschung auf dem Arbei
Seite 28 und 29: 8 Ziele, Methodik und Aufbau dieser
Seite 30 und 31: 10 Beschreibung grundlegender Begri
Seite 32 und 33: 12 Die optische spektrale Analyse B
Seite 34 und 35: 14 Beschreibung von Spektrometern,
Seite 36 und 37: 16 Beschreibung von Spektrometern,
Seite 38 und 39: Eine Auswahl theoretische Grundlage
Seite 40 und 41: 20 Eine Auswahl theoretische Grundl
Seite 48 und 49: 4 Vom englischen „absentee“ = d
Seite 56 und 57: 36 Verlustbehafteter und nicht idea
Seite 62 und 63: 42 Bragg-Spiegel (3.118) wobei eine
Seite 64 und 65: 44 Bragg-Spiegel • umso größer
Seite 66 und 67: 46 Spektrometer, basierend auf Fabr
Seite 70 und 71: 50 Vorteile und Potenzial der Nanoi
Seite 72 und 73: 52 Stempelherstellung Die so durch
Seite 74 und 75: 54 Stempelherstellung trockenem und
Seite 76 und 77: 56 Nanoimprint-Prägematerial Abbil
Seite 78 und 79: 58 Nanoimprint-Varianten Abbildung
Seite 80 und 81: 60 Nanoimprint-Varianten Soft-Nanoi
Seite 82 und 83: 62 Messaufbau für flächige Filter
Seite 84 und 85: 64 Temporärer Messaufbau des Filte
Seite 87 und 88: 6 Experimentelle Untersuchungen ver
Seite 119 und 120:
6 Experimentelle Untersuchungen ver
Seite 121 und 122:
Seite 123 und 124:
Seite 125 und 126:
Seite 127 und 128:
Seite 129 und 130:
7 Spektrale Analyse des Filterfelde
Seite 131 und 132:
Seite 133 und 134:
Seite 135 und 136:
8 Ausblick: Zukünftige Bedeutung d
Seite 137 und 138:
Seite 139 und 140:
Seite 142:
122 Die SCIL-Technologie für zukü
Seite 146:
Seite 150:
Seite 155:
Eigene Publikationen Eigene Publika
Seite 158 und 159:
Alle anzeigen

Untersuchungen zu Fabry-Pérot Filterfeldern - KOBRA - Universität ...

Erfolgreiche ePaper selbst erstellen

Template löschen?

Als Template speichern?