EPP 7-8/2019

TEST + QUALITÄTSSICHERUNG
Ultrafeine Prüfdrähte mit
sechsfacher Leitfähigkeit
Mit der bis zu sechsfachen Leitfähigkeit und
einem um 50 % reduzierten Durchmesser
toppen die neuen Prüfdrähte aus einer Rhodiumlegierung
von Heraeus Precious Metals
Standardmaterialien für die Qualitätskontrolle
in der Halbleiterindustrie. Der Technologiekonzern
ermöglicht damit eine neue Dimension
der Qualitätssicherung in der Mikroprozessorherstellung.Die
ultrafeinen Drähte sind
selbst dann einsetzbar, wenn Standarddrähte
längst an ihre Grenzen stoßen. Hersteller von
Prüfkarten für die Halbleiter- und Elektronikindustrie
benötigen den Draht, um daraus Nadeln
für die Prüfung von Wafern zu fertigen.
Sie müssen ihre Prüfkarten anpassen, um die
Herausforderungen der fortschreitenden Miniaturisierung
zu meistern.
Über zwei- bis sechsfache Leitfähigkeit
Die Schlüsselmerkmale eines guten Prüfdrahtes
sind die elektrische Leitfähigkeit, Härte
und eine dünne Geometrie. In puncto Leitfähigkeit
übertreffen die Neuerungen aus
Hanau die am Markt verfügbaren Legierungen.
Die Leitfähigkeit der Heraeus Produkte
liegt bei über 30 % IACS, die konventioneller
Drähte bei lediglich fünf bis 14 % IACS. Die
Drähte sind elastisch und weisen gleichzeitig
eine hohe mechanische Festigkeit auch bei
hohen Temperaturen auf. So sind sie über
viele Belastungszyklen verwendbar. Je nach
Bedarf nutzt der Technologiekonzern unterschiedliche
Edelmetalle wie beispielsweise
Palladium, Platin oder Rhodium, um gerade
Drähte auf Spulen oder als Drahtabschnitte
herzustellen.
Bis zu 50 Prozent feiner als der Standard
Die Qualitätskontrolle ist das Herzstück der
Halbleiterproduktion. Auf einem Wafer befinden
sich bis zu mehrere Hundert Halbleiterchips,
von denen jeder einzelne zu 100 % auf
Foto: Heraeus
Die Mitarbeiterin an
der Feindrahtzuganlage
prüft die Position des
Ziehsteins für die Geradheit
des Prüfdrahtes.
Funktionsfähigkeit zu prüfen ist. Aufgrund der
fortschreitenden Miniaturisierung der Transistoren
eines Chips und der damit einhergehenden
steigenden Anzahl von Transistoren
pro Chip sind kontinuierlich dünnere Prüfnadeln
auf engstem Raum notwendig. Derzeit
bis zu 30.000 auf der Größe einer Briefmarke.
Die neuen Drähte von Heraeus sind mit
einem Durchmesser von unter 20 μm nur etwa
ein Viertel so dick wie ein menschliches
Haar und bis zu 50 % feiner als Standarddrähte.
Damit ermöglichen sie neue Maßstäbe
für die Qualitätskontrolle in der Halbleiterherstellung.
www.heraeus.com
Echtzeit-Thermoanalyse durch kurze Belichtungszeiten
Die MWIR-Kamera Flir A6750 eignet sich aufgrund kurzer Belichtungszeiten
und hohen Bildwiederholraten für die Aufzeichnung
schneller thermischer Ereignisse. Mit dieser gekühlten InSb-Kamera
können genaue Temperaturmessungen an sich schnell bewegenden
Objekten ohne Bewegungsunschärfe sowie eine Vielzahl von zer-
störungsfreien Prüfungen durchgeführt werden. Die Kamera arbeitet
im Wellenlängenbereich von 3,0 – 5,0 μm (oder von 1,0 – 5,0 μm
bei der Breitbandoption, die Aufnahmen bis in den SWIR-Bereich ermöglicht).
Dank der 327.680 Pixel und hoher thermischer Empfindlichkeit
erzeugt die Kamera gestochen scharfe, detailreiche Wärmebilder,
die sich u. a. gut für Elektronikinspektionen oder Materialtests
eignen.
Die Kamera begnügt sich für zu messende Oberflächen bei Raumtemperatur
mit Integrationszeiten von unter 1 ms mit einer Vollbild -
rate von 125 Hz – beide Faktoren sind entscheidend für die Abbildung
dynamischer Prozesse. Die maximale Bildwiederholrate im
kleinsten Teilbildmodus liegt bei 4,1 kHz. Dank GigEVision und GenI-
Cam Kompatibilität ist die Kamera mit Software von Drittanbietern
Plug-and-Play-fähig. Sie arbeitet nahtlos mit der ResearchIR-Software
des Unternehmens zusammen. Dadurch wird ein intuitives
Betrachten, Aufzeichnen und erweitertes Verarbeiten der Wärmebildrohdaten
ermöglicht.
www.flir.com
Foto: Flir
Kamera Flir A6750 eignet sich aufgrund
kurzer Belichtungszeiten und
hohen Bildwiederholraten
für die Aufzeichnung schneller
thermischer Ereignisse.
84 EPP Juli/August 2019