special - Carl Zeiss
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Jubiläum<br />
Das erste kommerzielle Rasterelektronenmikroskop<br />
(REM) – Stereoscan<br />
Mark I – präsentiert 1965<br />
die britische Firma Cambridge Instruments.<br />
Heute gilt das REM als<br />
das ultimative Werkzeug in der<br />
Nanotechnologie.<br />
In den vergangenen 40 Jahren<br />
ist das REM zu einem unentbehrlichen<br />
Werkzeug in den unterschiedlichsten<br />
Disziplinen geworden.<br />
Ursprünglich in den Materialwissenschaften<br />
angesiedelt, hat<br />
das REM einen festen Platz in Bereichen<br />
wie Elektronik, Forensik,<br />
der Papierindustrie oder der Archäologie<br />
eingenommen. Auch in den<br />
Labors der Pharmaforschung, Nahrungsmitteltechnologie<br />
und Biologie,<br />
für deren ganz spezielle Anforderungen<br />
es modifiziert wurde,<br />
wird es eingesetzt. Nicht zuletzt<br />
nutzt auch die Halbleiterindustrie<br />
das REM intensiv in der Prozesskontrolle<br />
und Fehleranalyse.<br />
Spurensuche in der Nanowelt: 40 Jahre Ra<br />
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Innovation 16, <strong>Carl</strong> <strong>Zeiss</strong> AG, 2005
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