special - Carl Zeiss
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52<br />
Variabler Druck<br />
Moderne REM Systeme können heute<br />
sowohl im traditionellen Hochvakuummodus<br />
als auch im VP-Modus<br />
(variabler Druck) betrieben werden.<br />
Im VP-Modus wird eine kleine Menge<br />
Gas, bis ca. 400 Pa, in die Kammer<br />
eingeleitet, das die Ladung ausgleicht,<br />
die sich auf der Oberfläche<br />
nichtleitender Proben bei hohem Vakuum<br />
bildet. Dadurch können von<br />
Natur aus nicht leitende Materialien<br />
5<br />
wie Papier und Plastik analysiert werden,<br />
ohne dass ihre Oberfläche vorher<br />
beschichtet werden muss. Dieser<br />
Wegfall der Probenbeschichtung verkürzt<br />
die zeitaufwändige Probenpräparation,<br />
macht die Bedienung des<br />
Mikroskops insgesamt einfacher, erweitert<br />
das Spektrum der Anwendungsgebiete,<br />
bei denen das REM eine<br />
Rolle spielen kann, und erhöht den<br />
Probendurchsatz. Diese größere Flexibilität<br />
ist einer der wichtigsten Gründe<br />
für den Einsatz des REM bei Unter-<br />
suchungen von Keramikteilen, Kunststoffen,<br />
forensischen Proben und<br />
Kunstobjekten.<br />
Wasserdampf<br />
Ein direkter Nachkomme jener ersten<br />
fünf in Cambridge hergestellten Mikroskope<br />
ist die kürzlich eingeführte<br />
neue Generation der ZEISS EVO ® XVP/<br />
EP REMs. Ihre neue Konstruktion<br />
ermöglicht die Anwendung wesentlich<br />
höherer Drücke und lässt selbst<br />
Innovation 16, <strong>Carl</strong> <strong>Zeiss</strong> AG, 2005
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