Proceedings of the European Summer School of Photovoltaics 4 â 7 ...
Proceedings of the European Summer School of Photovoltaics 4 â 7 ...
Proceedings of the European Summer School of Photovoltaics 4 â 7 ...
You also want an ePaper? Increase the reach of your titles
YUMPU automatically turns print PDFs into web optimized ePapers that Google loves.
0,5 M IPA 1 M IPA 1,5 M IPA 2 M IPA<br />
Rys. 4. Morfologie powierzchni uzyskiwane w wyniku trawienia w roztworze 3 M KOH + IPA [4]<br />
Zestawienie parametrów procesów teksturowania krzemu i wyników teksturyzacji<br />
Nazwa<br />
roztworu<br />
Warunki procesu<br />
Zdjęcia SEM steksturowanej powierzchni<br />
Współczynnik<br />
odbicia<br />
Wodorotlenek potasu 2% KOH, 60°C [5]<br />
70%<br />
Wodorotlenek potasu<br />
+ izopropanol<br />
(KOH+IPA)<br />
KOH (45%):IPA:DIW<br />
1:6:55 (obj)<br />
ok.1% KOH+10% IPA,<br />
80°C, 30 min [6]<br />
10~11%<br />
Wodorotlenek potasu<br />
+ tert-butanol<br />
(KOH + TBA)<br />
KOH (45%):TBA:DIW<br />
1:6:55(obj)<br />
ok.1% KOH+10% IPA,<br />
80°C,30 min [6]<br />
12%<br />
Wodorotlenek<br />
tetra-metylo-amoniowy<br />
+ izopropanol (TMAH<br />
+ IPA)<br />
2% TMAH + 9% IPA,<br />
90°C, 30 min [7]<br />
13%<br />
Wodorotlenek<br />
tetra-etylo-amoniowy<br />
(TEAH)<br />
5 wt.% TEAH, 90°C,<br />
60 min [8]<br />
14,5%<br />
Z rysunków 3 i 4 wynika, że do teksturowania należy stosować<br />
roztwory o małym stężeniu KOH z niewielkim dodatkiem związku<br />
powierzchniowo-czynnego.<br />
Inne roztwory do teksturyzacji<br />
86<br />
Na podstawie danych literaturowych zebrano parametry procesu<br />
i wyniki trawienia w kilku wybranych roztworach stosowanych do<br />
teksturyzacji. W tabeli zestawiono roztwory trawiące, warunki procesu<br />
i rezultaty trawienia w postaci zdjęć SEM oraz współczynników<br />
odbicia (reflektancji).<br />
Wodorotlenek potasu z dodatkiem 1,2-penatanediolu<br />
Pomimo popularności, roztwory z dodatkiem alkoholu izopropylowego<br />
mają poważną wadę – niską temperaturę wrzenia alkoholu<br />
(82 o C). Fakt ten powoduje, że w trakcie trwania procesu trawienia<br />
znaczna część alkoholu może odparować, zmieniając stężenie<br />
Elektronika 6/2012
Change language