View/Open - JUWEL - Forschungszentrum Jülich

92 8 Ergebnisse und Diskussion
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- Sputterzeit (min)
Abb. 8.29: SIMS-Profil einer 466 nm dicken laserkristallisierten Schicht auf Corning-Glas
(A=1064 nm, E=400 mJ). Neben den Elementen bzw. Verbindungen sind die
jeweiligen Massenzahlen angegeben.
Die verschiedenen Zählraten können nicht auf der Skala miteinander verglichen werden. Die
Empfindlichkeitsfaktoren der einzelnen Elemente müssen berücksichtigt werden, um deren
absolute Konzentration in der laserkristallisierten Schicht bestimmen zu können. An der
Substratgrenzfläche zeigt sich eine starke Verunreinigung der Schicht vor allem durch Bor
und Aluminium. Auch Barium ist deutlich nachweisbar, während die gemessene
Arsenkonzentration dem Signaluntergrund entspricht. Der Empfindlichkeitsfaktor von Bor
wurde durch die Messung von Standardproben bestimmt. Aus dem Verhältnis der Intensität
des Bor-Signals zum Matrixsignal kann der Borgehalt in der Schicht bestimmt werden. Die
höchste Borkonzentration nahe an der Substratgrenzfläche liegt bei 1-2 %. Für die
Konzentrationen von Aluminium und Barium an der Grenzfläche zum Substrat wurden grobe
Abschätzungen anhand von Literaturdaten der Empfindlichkeitsfaktoren [86] vorgenommen.
Sie beträgt für Aluminium etwa 0.2-0.3 % und für Barium 20-50 ppm. Allerdings ist auf
Grund der Schichtrauhigkeit eine Überschätzung der Verunreinigungen an der
Substratgrenzfläche möglich (vgl. Kap. 8.1.2.3d). Die Konzentration dieser Elemente nimmt
mit zunehmender Entfernung von der Substratgrenzfläche ab. Besonders hoch bleibt die
Konzentration der Verunreinigungen bis zu einer Distanz zum Substrat von ca. 100 nm. Auch