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62 8 Ergebnisse und Diskussion .- 0> Q) 0.56 -c 0.54 -Q) ..... '(i5 ..... ..c 0.52 ~ ctS Q) a.. Q) ctS 0.5 ..... 0> Q) ..... c 0.48 • ---~-------------------------------------- , , , ·. ' , \ ., \ " , ---~-~.-------------- \\, "",'-4________ {311} • " . ------------. ." " . " . {220} "------ --- --. Abb. 8.10 zeigt die Peakbreiten der {111 }-, {220}- und {311 }-Reflexe in Abhängigkeit von der Laserenergie. Der geschätzte Meßfehler liegt bei 0.01 deg. Die horizontalen Linien geben die jeweilige Linienbreite einer Standard-Pulverprobe vom Typ NIST SRM640a an. Alle Peakbreiten, die unter der zugehörigen horizontalen Linie liegen, zeigen eme durchschnittliche Korngröße oberhalb von 200 nm an. Bis zu dieser Größe war eme Quantifizierung möglich. Vermutlich liegen die Kristallitgrößen jedoch wie bei der Standard Pulverprobe bei ca. I !J.m. Die Abhängigkeit der Peakbreiten von der Energie ist derjenigen der TO-Mode aus den Raman-Messungen in Abb. 8.6 ähnlich. Bei niedrigen Energien ist die Reduktion der Peakbreite mit wachsender Energie besonders stark, während im oberen Bereich des Energiefensters nur eine marginale Energieabhängigkeit zu beobachten ist. {111}- E (mJ) Abb. 8.10: Integrale Peakbreite der {111j-, {220j- und {311j-Rejlexionen für die Energieserie mit 415 nm Schichtdicke (vgl. Abb. 8.6). Die Kurven zeigen den Trend bei der Abhängigkeit der Peakbreite von der Energie an. Mit zunehmender Energie ist gleichzeitig eine Veränderung der Oberflächenmorphologie der Schichten zu beobachten. Abb. 8.11 zeigt eine Zunahme der Oberflächenrauhigkeit mit wachsender Energie exemplarisch für die Schichten der 415 nm-Serie. Die dunklen Strukturen in den Durchlicht-Mikroskopaufnahmen werden von einer Modulation der Schichtdicke verursacht.
8 Ergebnisse und Diskussion 63 Abb.8.ll: Durchlicht.Mikroskopaufnahmen von Schichten der 415 nm-Serie bei Laserenergien von a) 130 mJ, b) 195 mJ und c) 375 mJ Die typische Modulationslänge nimmt mit steigender Energie zu. Im Energiebereich kurz unter der Ablationsschwelle bilden sich Löcher in der Schicht (vgl. Abb. 8. llc). Die SEM Aufnahme in Abb. 8.12 zeigt ein typisches Loch der in Abb. 8. llc dargestellten Schicht mit einem Durchmesser von 2-3 ~m . Abb. 8. / 2: SEM-A ufnahme der Schieh' aus Abb. 8./Ic
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